“上面這個肯定是樣品臺了,為什么下面要加裝一塊金屬擋板呢?”許秋問道。
“這塊金屬擋板叫做樣品擋板,當他處于開啟狀態時,可以有效阻擋氣體分子沉積在樣品表面。因此,我們可以利用它,控制蒸鍍的開始和結束時間,得到精確的厚度。”陳婉清道。
將艙內情況了解完畢后,許秋開始做蒸鍍前的準備工作。
兩批基片的器件結構不同,需要分兩次進行蒸鍍。
第一批是正常結構,也就是蒸鍍鈣和鋁。
許秋首先在鎢簍中裝滿純度的鋁錠,然后讓學姐幫忙打開鈣束源爐的擋板。
擋板的開關是數控的,需要在手套箱外的總控臺操作。
打開擋板后,他取出束源爐內部的陶瓷坩堝,將上次使用后剩余的殘渣倒出,再加入兩勺新的純度的鈣粉末。
陶瓷坩堝是特質的,可以至少承受1000攝氏度以上的高溫,且十分穩定,不會與靶材反應,產生雜質。
完成后,他讓學姐關閉束源爐擋板。
最后,他將一片片基片正面朝下放置在樣品支架上,再將樣品支架放回樣品臺。
“學姐,沒有問題吧,可以關艙門了嗎。”許秋看向陳婉清。
“嗯嗯。”陳婉清點點頭。
許秋將艙門從右往左推回原位,然后旋轉艙門上下的兩個旋鈕,直至無法轉動為止。
……
許秋離開手套箱,和學姐一同來到總控臺,因為剩下的操作主要在總控臺完成。
總控臺接近兩米高,由十幾個模塊拼接而成,一共有30多個控制按鈕。
“旁邊有操作說明,嚴格按照說明來做就行。”陳婉清道。
許秋拿起《真空鍍膜儀使用說明》翻看,只有兩頁A4紙,并沒有想象中的多。
他表面上在看說明書,實則在心中查看系統。
系統已經將學姐的技能復制了,可以看到每步操作的細節,所以文字版的說明書意義已然不大。
“我看完了。”許秋道。
“這么快?”陳婉清道:“行,那你來操作吧,有什么問題我會提醒你的。”
第一步是打開循環水系統和空氣泵。
前者用來冷卻分子泵,而后者用來推動樣品擋板。
許秋找到位于總控臺后面的循環水裝置,按下綠色的啟動鍵,便聽到儀器發出嗡鳴聲,仔細聽的話還有水流聲。
然后,他走到空氣泵旁邊。
空氣泵上有一個橙紅色的瓶蓋大小的開關,需要拉起來,才能啟動機器。
許秋試著向上拉,開關卻紋絲不動,他也不敢太用力,便說道:
“學姐,怎么弄。”
“用力弄啊。”
“砰!”