許秋將蝕刻失敗的基片處理掉,開始思考失敗的原因。
一方面可能是蝕刻時間過長;
另一方面可能是膠布與基片之間存在有氣泡,或者它們的間隙過大。
再次實驗。
許秋又取來三片PEN基片,用3M電工膠布貼好圖案后,反復用鑷子按壓膠布的所在部位,使之與基片盡量貼合。
然后,他在三個新的一次性塑料杯中加入稀鹽酸,并倒入兩勺鋅粉。
等待五秒鐘后,他將三片基片各自放入一個塑料杯中,同時按下秒表。
每隔40秒鐘,撈出一片基片,隨后用去離子水沖洗干凈,撕下上面貼有的3M電工膠布。
許秋通過肉眼觀察,蝕刻時間為40秒、80秒的基片,均得到了完好的圖案。
而蝕刻時間為120秒的基片,ITO圖案的邊緣有被酸液腐蝕的痕跡,不過相較于上一次實驗,痕跡變得不明顯。
這說明將膠布與基片緊密貼合,對于防止酸液滲入膠布下面起到了一定的作用。
肉眼可能會騙人,為了確保蝕刻成功,許秋從工具箱中取出萬用表,測量基片上被蝕刻部位的導通情況。
將萬用表調至導通模式,如果兩個紅黑表筆之間的電阻很小,萬用表就會發出“滴”的聲音。
經過檢測,三個基片被蝕刻部位都是不導通的,而ITO本身是良好的導體,這表明裸露在外的ITO成功被蝕刻。
因此,蝕刻時間為40秒和80秒的條件都是可行的。
許秋最終選擇了一個中間值,蝕刻1分鐘。
…………
摸索好實驗條件后,許秋制備了12片圖案化的基片。
雖然中途有一片因為膠布沒有粘牢而失敗了,但是不影響大局。
隨后,他用異丙醇清洗基片,接著用氮氣槍吹干,裝入培養皿中。
接下來的旋涂操作,許秋又遇到了新的問題。
PEN基片無法被勻膠機上方的平臺吸牢,在高速旋轉的過程中,基片有時會直接飛出去。
許秋想了想,將PEN基片貼在了與之同等大小的玻璃片上,然后再進行旋涂。
順利解決問題。
涂好后,許秋將基片上的玻璃片取下,然后在100攝氏度下退火,擦片。
之后,他又重新在基片上貼好玻璃片,傳入旋涂的手套箱內。
陳婉清看到后,好奇問道:“許秋,這是什么,玻璃片上貼著……PEN基片嗎?”
“沒錯,我已經找到蝕刻PEN基片的方法了,濕法蝕刻,用3M膠布貼好,控制好時間就行了,”許秋道:
“下面貼一塊玻璃是為了方便旋涂。”
“好呀,等下準備涂什么有效層啊?”陳婉清道。
“學姐給我點PTB7-TH的溶液用用唄,還有旋涂方法也告訴我吧。”許秋道。
“溶液在加熱攪拌臺上,應該還有500微升,足夠你用了,”陳婉清道:
“實驗條件的話,我等下寫在便簽紙上給你,現在快吃午飯了,等吃完飯回來再做實驗吧。”
…………
下午,還不到一點鐘,許秋便拿著學姐的便簽紙,進入手套箱中。
沒辦法,旋涂的手套箱可是香餑餑,他怕到一點半的時候搶不到手套箱的使用權。
許秋看了一眼學姐的實驗條件: