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          筆趣閣 > 都市小說 > 我有科研輔助系統 > 392 為科學獻身的時候到了(求訂閱)

          392 為科學獻身的時候到了(求訂閱)(1 / 3)

          蒸鍍艙的真空度達標后,許秋和莫文琳又回到實驗室,先按照正常的方法用束源爐加熱法蒸鍍了三氧化鉬。

          之后等待束源爐溫度降低至100攝氏度以下,開始準備蒸鍍金屬電極。

          平常蒸鍍厚膜金屬電極的時候,蒸鍍的速率并不是很重要,有的時候趕時間,還會直接用閃蒸的操作方式制備電極。

          所謂閃蒸,突出一個字“閃”,就是直接用大電流,在不燒斷保險絲的前提下,把蒸鍍速率拉滿,嗖的一下就把膜給鍍好了。

          對比一下,正常蒸金屬電極是大約1埃每秒,即0.1納米每秒的蒸鍍速率,蒸100納米需要大約17分鐘。

          而閃蒸的速率可能會達到6埃每秒,甚至10埃每秒以上,直接幾分鐘就能搞定。

          除了蒸的快,閃蒸還有另外一個優點,那就是蒸的厚,對靶材的利用率高。

          尤其是平常在蒸鍍金的時候,因為金比較貴嘛,所以為了防止浪費,都是盡量少加金靶材,然后直接閃蒸的。

          根據許秋的經驗,如果閃蒸把金全部蒸完,得到的金膜厚度是100納米的話,正常速率蒸鍍得到的厚度可能就只有30-50納米,差距還是非常大的。

          凡事有利就有弊,閃蒸也是有缺點的,那就是會讓蒸鍍得到的薄膜變得不均勻。

          舉一個不太形象的例子,可以把蒸鍍的過程想象下冰雹的過程,器件表面想象成為泥土地面,蒸鍍速率越快,冰雹顆粒越大,下落的速度越快,就更容易把地面給砸出坑來。

          對應在蒸鍍過程的體現,就是蒸鍍速率越快,靶材分子越會傾向于滲入有效層或者傳輸層薄膜中,從而形成不同位置厚薄不同的金屬電極。

          當金屬電極的總厚度比較厚的時候,厚薄不均勻的影響不大,假設膜厚在100納米,厚度的偏差在10納米,最終得到的厚度分布也會是100±10納米,自然不會影響到電極的導電性能。

          可如果厚度比較薄的時候,這個影響就明顯了,厚度是10±10納米,有些地方就直接斷路了。

          因此,現在蒸鍍1納米的金,9納米的銀的雙層薄層電極,為了保證電極的連續性,不僅不能閃蒸,而且還要進一步壓低蒸鍍速率。

          許秋計劃選用的蒸鍍速率是0.2埃每秒左右,和蒸鍍三氧化鉬傳輸層的速率相當,這樣蒸1納米的金,需要大約1分鐘,9納米的銀,大約需要7分半鐘,比平常蒸鍍的時間還要短。

          理論合理,實踐開始。

          許秋設置好金靶材的各項參數,包括密度、Z因數等,然后啟動電流加熱裝置,將電流輸出端調至金靶材的回路,同時向莫文琳吩咐道:

          “莫文琳,你記錄一下實驗條件,剛剛三氧化鉬是565攝氏度,0.2-0.3埃每秒,膜厚是10納米。接下來的金、銀電極膜厚分別為1納米和9納米,計劃蒸鍍速率是0.2埃每秒……”

          “好的。”莫文琳點點頭,然后從蒸鍍手套箱頂上摸出一本實驗記錄本出來,開始記錄。

          像這種大型儀器的使用都是需要記錄的,要是出現問題比較容易追責,當然,也不完全是為了追責,這樣做還能讓實驗人員不至于忘記之前的實驗條件。

          尤其是不熟練的新人,如果忘記了實驗條件,旁邊還沒有老人可以請教,就可以自己翻一翻之前記錄的條件進行模仿。

          許秋旋轉旋鈕,緩緩的加大電流強度,從0安培到5安培,再到10安培,然后到15安培。

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