光刻機聯合研究中心。
蘇遠山是被鄭振川一個期期艾艾的電話直接給叫到這邊來的——在電話中,鄭振川只是說光源小組和硅谷的林本堅團隊出現了摩擦。
當時把蘇遠山嚇得夠嗆,下樓搶了一輛自行車就往光源實驗室趕去。
不過當聽到所謂的摩擦后,他微微松了口氣。
……
“意思是林本堅那邊說,根據他的技術直覺,KBBF晶體無法用在DUV光刻機上?”蘇遠山望向趙凱東問道。
趙凱東正在一根一根地抽著煙,點了點頭:“是的,但國外已經出現了倍頻技術……我們這邊也有所突破了。”
蘇遠山抿了抿嘴,深深地皺起了眉。
“老林那邊就一個直覺嗎?”
“不是……是目前已有的光源來看,KBBF晶體不足以滿足光刻機的持續、大功率激光輸出。”趙凱東望向蘇遠山:“但我們相信……大功率肯定是能的。”
蘇遠山輕輕嘆了口氣:“我當然也相信……”
蘇遠山知道,后世KBBF是一直沒有用在光刻機上的——或者說,加個主流。當初他讓趙凱東搞KBBF,也是懷著僥幸,希望能夠從KBBF上完成突破,從而一舉打破193納米的桎梏,再加上浸潤式,到時候就能很輕易地靠著DUV就下探到5nm制程之下。
現在被林本堅這個光學大師級人物直接反對了,蘇遠山一時半會還真不知道怎么判斷了。
不過有一點他是相信的,就是KBBF的技術肯定有用——大功率激光器了解一下。
沉吟許久后,蘇遠山輕聲道:“這樣,老林那邊的團隊……因為投入有限,同時也要考慮到極端條件下的政策因素。所以我們不能把雞蛋放在一個籃子里,這邊還是用兩條腿走路的形式。”
“馬上校招季到了,遠芯這邊也招一批搞光學的研究生進遠芯,你們也往上面申請一下。”
趙凱東也輕輕嘆了口氣。
他作為搞技術的,當然是看到技術,看到困難就要突破。但也他知道蘇遠山為難,如果搞到最后KBBP真不能用在光刻機上,那蘇遠山投入的錢可就真打水漂了……
遠芯怎么說都是個企業,在明確有大佬提出此路不通的時候再硬著頭皮沖,而不是謹慎一點,這可不是搞企業的好習慣。
“行,那我們兩條腿走路。”
“嗯,那就拜托趙叔了。”
蘇遠山說著又回頭對鄭振川道:“鄭叔,你們這邊情況如何?”
“我們這邊挺好,訂購的零部件都已經通過了,估計三個月內就能完全到齊。”相比趙凱東,鄭振川這邊的心情要好許多,他這邊設計的光刻機采用的是紫外光,理論上是可以搞定0.5微米制程的。
聽到這里,蘇遠山心情也好了不少:“萬里長征第一步出來了。”
“嗯啊,這也才是第一步……我不求能達到量產質量,只求能穩定運行就行了。”鄭振川笑道。
遠芯從成光所拖過來的光刻機,確實有點一言難盡。在經過不斷的調試之后,它倒也能勉強完成它的使命——能夠造出1微米制程的元器件了。