“林叔，趙叔。”
蘇遠山見兩人同時站在門口，連忙上前握手，梁夢松也上前打了招呼。
見到跟在蘇遠山身后的梁夢松，林本堅倒沒什么，趙凱東則是微怔了一下——此時張汝金不在，按照規矩，負責接待陪同蘇遠山的顯然應該是德遠的二把手來……
按照職位算，梁夢松只能排到德遠的第五。
這架勢，看來蘇遠山是真鐵了心的要全力推制程突破了。
在接待室落座后，蘇遠山簡單問了一下目前的進度——在光源領域，因為林本堅的加入，趙凱東團隊進展得很快，他們即將完成193nm的準分子激光光源技術。
雖然比起國外同行落后了差不多一年多，但好歹算是追上了。而且就現有的技術和理論來看，193nm將會成為很長一段時間內都無法突破的光源。否則燈塔國那邊也不會成立EUV聯盟，找尋新的出路了。
當然，對于如何跨越193nm，除了EUV之外，也有其他的方案。譬如尼康和SVG就在準備攻克157nm的HeF2激光，以及電子束投射(EPL)，離子投射(IPL)、甚至X光等等……
總之，就是解決的辦法一籮筐，放眼望去全是路。
但具體哪一條是真正的正道，誰也不知道。
嗯，只有蘇遠山一個人知道。
因為這些方案，都敗給了眼前這個樂呵呵的老爺子。
“林叔，趙叔，193nm之后你們的想法是什么？”坐到沙發上，蘇遠山端起茶杯抿了一口。
趙凱東和林本堅對視了一眼，隨后笑著道：“193nm看樣子都要停留很久，你這么著急？”
“我本來是不著急的。”蘇遠山很坦白：“主要是老美那邊搞EUV，搞得我有點心慌。”
趙凱東便笑著搖了搖頭：“雖然說光源要比光刻機領先很多，但193nm的光源現在都尚未用在光刻機上，你心慌也沒用。”
“至于說下一代光源，其實我和老林并不十分看好157nm，因為HeF2激光可以說要完全推翻現有的光路系統，非但物鏡要重新搞，光刻膠也要重新研制……最主要的是，波長步進提升不大，且投入產出比太高了。”
“EUV，聽起來很不錯，有點下一代光源的意思。但你看EUV聯盟那架勢……就不是我們這個小作坊能夠完成的。”
蘇遠山便笑道：“有您二位在，咱們這實驗室可不是小作坊。”
“呵呵，不管是不是，但設計師不是有句話嗎？摸著石頭過河……既然前面有人趟路了，那我們也干脆摸著石頭過河就行了。”趙凱東笑道：“intel不是拉了那么多企業嗎？你也可以拉一個嘛。”
蘇遠山：“……”
他算是聽明白了，趙凱東的意思是，讓他也搞個EUV聯盟。
蘇遠山倒是想搞，可現在要是搞的話，那就不是遠芯主導，而是所有人給霓國人打工。
于是他便望向林本堅。
“林叔？你有什么妙招沒有？”
（注：雖然有點枯燥，但……總歸還是得寫。。。）