“王院士,光源能量穩定,光斑數據正常。”
“打開遮光器。”
“是。”
“2001年12月1日,晴。
今天從江大的李教授提出了一個前沿的研究,針對準分子光源特性,提出了基于光棒和復眼的實現對掩膜面高均勻照明的兩種方法。
針對入射準分子激光強度的波動性和強度分布的隨機性,提出采用陣列型照明模式變換元件對光束進行變換,以實現各種照明模式下光瞳的對稱性和一致性。
研究了相干因子調整系統中可能存在的各種誤差源對相干因子、光瞳橢圓度、光瞳極平衡性、遠心度的影響。”
“2001年12月5日,晴。
清華,燕航以及長光所成功合作研制了全新衍射光學元件,極大的降低了雜散光的影響,全新的算法將為我們自主研發的光刻機提供強有力的技術支持。”
此時的長春實驗室。
“王院士,可以進行數據采集了。”
“開始吧。”
“是。”
“2001年1月8日,晴。
這是意義深遠的一天,物鏡高數值孔徑和極小的系統波像差矛盾一直都是光刻機物鏡領域的最大難點。
現在通過非球面元件和反射元件的配合,我們有望突破這一技術難點,雖然這一次的元件基本是在霓虹國定制的,但解決了上游難題,下游元件的自研只是時間問題。”
通過徐國華的筆記本,孟謙基本了解了光刻機項目這半年的研發情況和主要成就,雖然只有半年的時間,還無法實現更全面的自研自產,但一個又一個核心技術的突破,是華夏科研力量最好的展現,
光刻機設計的核心技術實在太多了,光是一個曝光系統涉及的專利就能有上千個,曾經那一世,這些核心技術基本上跟華夏都沒什么關系。
但現在,在華夏的土地上,科研力量正在光刻機領域生根發芽。
光刻機這塊大骨頭,正在一點一點的被華夏科研人員啃食。
這只是半年的成就,一年后,兩年后,五年后呢?
孟謙內心翻滾,曾經那一世,他沒有機會也沒有資格見證華夏老一輩科研者的實力,這一世,他是何其幸運,可以親眼目睹。
中午,送餐的人來了,孟謙小心翼翼的將徐國華的筆記本放回到抽屜里。
“孟總,幾點了?”這是徐國華今天第五次問這個問題了。
“11點半。”孟謙把菜盒打開,“至少得到晚上才能出結果吧,徐老師再耐心等等。”
午飯后,一晚沒睡的孟謙迷了一覺,下午三點,因為被護士查房吵醒,孟謙簡單洗了把臉繼續等待。
傍晚五點,孟謙跟徐國華終于等來了兩個風風火火的腳步聲。
“孟總,老徐!”梁志國一進門,臉上已經寫滿了答案。
孟謙懸了一天的心終于放下,“梁老師說說具體情況吧。”