集成電路(IC)要在單片晶圓(硅片)上構建眾多的電子元件(主要是CMOS管),而這些元件的各個部分,比如P結,N結,柵極,等等,需要通過光刻逐層構建。
工廠依照確定的集成電路版圖制造掩膜,然后使用光刻機將掩膜投影到已經涂了抗蝕劑的晶圓上,使得抗蝕劑曝光,之后對曝光過的抗蝕劑進行顯像,對隨后對晶圓進行化學蝕刻,然后用物理方法去除蝕刻部分,留下來的就形成所需的元件。
整個過程就像照相,一個人通過光學鏡頭的處理,在底片上留下痕跡,通過化學藥水分批清洗,就可以從底片上顯露人的形象。
所以光刻機是決定集成電路尺寸的主要因素,它能給你曝光到多少量級,集成電路就能夠做到多少尺寸。
光刻機的光源自然也是其最重要的核心部件。
目前硅谷晶圓廠使用的大都是投影式光刻機,采用汞燈作為光源,汞燈的缺點是光譜線太高,成本也高,而且投影式方式下光刻機鏡頭無法移動,在同等光源下,能夠曝光的集成電路容量有限。
張恒為何要關注GCA這家還不算太出名的小公司,因為這家公司在1978年研制出了史上第一臺步進式光刻機,大大擴展了集成電路的容量。
通俗點說,投影式一次只能拍一張照,可以移動的步進式一次至少可以拍兩張照甚至還要更多,得到的影像當然要大得多。
“既然GCA暫時不同意入股,那價格上也就不需要太客氣,你好好和他們砍吧。”張恒做了決定,GCA他是志在必得,但是并不緊迫,隨著晶圓廠的開工建設,相信會慢慢和對方建立起某種程度的信任,只要大恒未來數年內發展得好,不怕他們不上船。
畢竟光刻機不是便宜貨,生產商不可避免地會受到大客戶的制約,參股甚至控股也很正常,前世英特爾和臺積電就都是A**L的股東。
“另外,和LambdaPhysik的股東們好好談下,我們可以整體收購他們公司,如果他們還想繼續在紡織印染行業發展的話,我們也可以只收購他們的相關技術,告訴他們,我將把公司帶入一個全新的廣闊行業中去。”
張恒對LambdaPhysik公司并沒有印象,他不知道,這家由兩名化學博士創建的公司到了79年會分裂成兩家公司,一家繼續從事紡織印染行業,另外一家將進入集成電路光刻機光源行業,而到了八十年代后期,分裂出來的新公司會被剛成立一年的Cymer收購。
Cymer對于中國集成電路從業者來說就非常熟悉了,這家專業激光光源制造商在2012年被A**L收購,從此成為這家令中國人愛恨交加的壟斷光刻機廠的核心成員。
陸元騰臉色愁色更濃:“老板,資金......”
“這我來解決,你們去做自己的事吧。”張恒揮揮手打發走他們,先給恒生的利國偉打了電話,又給高盛的懷特打了電話,十幾分鐘后,總算有些輕松地躺在軟椅上。
陳鎮寧忽然敲門進來:“老板,夏普的町田先生過來拜訪您了。”
“町田勝彥,他怎么會在這里?”張恒非常驚訝,讓他把人請進來。