其中的難點和關鍵點,在于將電路圖從掩模上轉移至硅片上。
這一過程,目前只能通過光刻,才能最有效地實現。
所以,光刻的工藝水平,往往直接決定了芯片的制程水平和性能水平。
安正國找來技術人員和材料,在蘇揚的指導下,這些專業生產芯片的員工,初步了解到這臺光刻機的使用流程。
光刻的原理,實際上非常簡單。
在硅片表面覆蓋一層具有高度光敏感性的光刻膠,再用光線透過掩模照射在硅片表面。
被光線照射到的光刻膠,會發生反應。
此后,再用特定的溶劑洗去被照射或未被照射的光刻膠,就實現了電路圖從掩模到硅片的轉移。
這和華夏古代的印刷術,實際上有一些相似之處,但光刻技術卻比印刷術難了千萬倍。
一般的光刻步驟,有氣相成底膜、旋轉涂膠、軟烘、曝光、顯影、堅膜。
接著,就是進行檢測,主要是顯影檢測,讓合規的硅片進入后續的蝕刻流程。
所謂蝕刻,便是通過化學或物理的方法,有選擇地從硅片表面,除去不需要材料的過程。
完成之后,就能通過特定溶劑,洗去硅片表面殘余的光刻膠了。
當然,這是最簡易的光刻步驟,在實際生產制造中,比這復雜了上百倍。
從開始光刻,到最后洗去殘余的光刻膠,幾個步驟,就足足花了三個多小時。
當然,這里面也有一些員工剛剛接觸新設備,操作不順手的因素。
當時間來到下午四點半的時候。
車間內,一片驚喜和歡騰的景象。
“出來了,居然真的做出來了!”
“60nm的電路圖,居然真的被我們轉移到了硅片上。”
“不可思議啊!全華夏能做60nm芯片的企業,不超過三家,而且全是在18年下半年才剛剛突破的技術,還是在實驗室里!做到量產的話,得到今年年底,甚至是明年年初去了。”
“是啊,而我們現在,卻擁有了一臺可以量產60nm芯片的光刻機,如果操作熟練了,速度提上去,再進行交替光刻,一天至少可以造上數百片12寸的圓晶啊!”
“這是一個突破,了不起的突破,如果我們把這里發生的事情,宣布出去,足以震驚整個華夏,乃至是中央都要被驚動!”
華夏在半導體行業,被壓了太多年了。
從上個世紀以來,就一直跟在西方國家的屁股后面跑,說是向人家乞討技術也不為過。
雖然60nm芯片的量產,和45nm芯片的量產,還有一定的差距。
但是,在工藝水平上,也能證明華夏沒比inter等落后太多了。
這是一個十分漲士氣的突破。
一旁,劉元龍沉聲道:“各位,你們難道沒有意識到嗎?剛才我們用的,只是這臺光刻機最底線的精度!”
這話一出,幾名興奮的家伙,立刻止住了話音,轉而張了張嘴巴,眼睛立刻掙得大大的。
“是啊,剛才用的還是最低的精度!”
“沒錯,往上一個刻度的話,豈不是意味著……45nm甚至32nm的芯片也有可能了?”
“不對,我之前看過一篇學術報告,EUV光刻技術的真正領域,是32nm,不,是22nm以下的領域!”
“22nm以下,這……這也太瘋狂了吧。”
“……”