“呵呵”
方鴻看到這條新聞不禁笑了,自顧自地說道“看來,多少還是有點急眼了啊,急眼就對了。”
國產光刻機對標世界最先進水平其實還有很長的一段距離要走的,可是今年上半年以來,大基金的出現讓國際上的那些廠商感覺到了“不對味兒”,他們一開始就嘗試要滲透、孵化大基金的管理層。
可他們并沒有意識到,這會兒的大基金管理層團隊雖然明面上和群星資本沒什么關系,但實際上都是方鴻派過去的人,而結果就是他們發現滲透、孵化這一招收效甚微。
現在大基金的前都在落地到實處,比如這主攻光刻機的新微半導體就拿了不少錢,而且昨天借殼上市又向資本市場要了105個億,幾乎了花不完的錢。
拿了那么多的錢,基本都砸到研發項目里。
目前新微半導體同時在搞三代光刻機,因為光刻機的研發生產并不需要由低到高、循序漸進,是可以平行研發的,所以新微半導體直接起了三個團隊并行研發。
這三個團隊分別攻關第四代arf光刻機,第五代arfi光刻機,以及第六代極紫外光euv光刻機。
第四代的arf光刻機與第三代krf原理一樣,但光源升級,采用193n光源的光刻機,這兩種稱之為duv光刻機。
而第五代arfi光刻機,采用的也是193n光源,但這種又與arf不一樣,之前所有的光刻機其介質采用的是空氣,但到了arfi光刻機時,采用的是水。
光線在經過水時,會有折射,所以雖然arfi光刻機采用193n波長光源,經水折射時,等效于134n波長的光源,所以這種光刻機,叫做浸潤式光刻機。
說起來,曾經業界光刻機技術停止了很多年,尼康、佳能想把光源從193n升級為165n,但好多年沒成功。
而抬積電提出來用水作介質,就跳過157n,變成143n了。
尼康、佳能很傲慢,不理抬積電,那時候as只是個小廠,也敢于一試,最后就搏出了as的未來,研發出了arfi浸潤式光刻機,然后打得尼康、佳能一敗涂地,成就了今天的行業地位。
而第六代euv光刻機,采用的則是135納米的極紫外線光源了,這種光刻機目前全世界都沒有搞出來,as也一樣,針對的事7納米制程級別的芯片制造,而當前世界最先進的制程是在14納米這一階段。
可以確定的,整合國內光刻機產業鏈的新微半導體,其技術水平就是代表了目前國產技術的最高水平,現在是把所有的相關資源都砸在了新微半導體身上,由該公司對光刻機展開全力攻克任務。
像g線、i線國內都有了,krf也有了,就是新微半導體突破的。
目前在攻克的arf光刻機也已經快要突破了,并且正在全力死磕arfi光刻機,同時對于極紫外光刻euv的研究也有團隊在展開論證。
各代的光刻機開發團隊并行展開,同時也相互交流。
現在的新微半導體是要錢有人給錢,要人才方鴻這邊到處給他找,而且因為老美對技術、元件等進行了封鎖,在很大程度上非但沒有擊垮,反而因為外部的壓力促使內部變得更加團結一致死磕。
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