一般的住宅樓或商業樓盤,地下室一般用作地下停車場,每層面積比之建筑占地面積,只少不多。然而這棟實驗樓的情況明顯有異,地下室的面積,比之上層建筑占地面積多出來太多了。
“其實這棟實驗樓的主體是地下這三層,所有的重點設備和保密項目,都安排在地下,面積大一些也屬正常。地面以上的那些樓層都是一些辦公室,會議室之類的次要場所。”周萬達開口,給喬瑞達解釋了地下建筑的重要性。
此處無塵車間的配置相當的高級,四周墻壁上刷的是乳白色專用無塵涂料,地面上鋪的是淡藍色環氧地坪漆,吊頂上使用累鋁合金方管龍骨,和鋁塑板面層,空調透風口、回風口、燈具,均勻分布其間,看起來非常的協調。在地面上,沿著一條直線,安裝著大大小小上千臺設備。此時所有設備都處在開啟狀態,有數百名穿著無塵服的工作人員正在其間走動忙碌。
看到如此情形,喬瑞達突然就覺得,那600萬的流片費用,一點也不貴了。
“這里怎么會有如此多的設備,生產一枚小小的芯片竟然需要這么多設備嗎”
“這是一條芯片生產試驗線,由1216臺設備構成,主要用于芯片流片測試,新工藝新技術探索,微電子專業學生培訓等用途。這還只是試驗線,設備數量要少的多,如果是晶圓代工廠的正規生產線,設備數量至少在3000臺以上,才能保證芯片的大批量不間斷生產。”
說話之人是王院士,這條芯片生產線,就是在他的主導之下建成的,可以說這里的每一臺設備,每一條傳送帶,他都了如指掌。
王院士將喬瑞達和周萬達二人,帶到生產線起始端,開口繼續介紹道“咱們這條芯片生產線,是在一條013μ生產線的基礎上改造的,所以使用的還是六英寸晶圓。現在國際主流的芯片生產線,已經用上了八英寸甚至十二英寸的晶圓,在良品率和生產成本上,都有巨大的優勢。”
“這次只是流片測試,不是批量生產,所以使用的晶圓只有30片。現在正在進行的步驟是涂膠,也就是使用涂膠機,將光刻膠均勻的涂抹在晶圓的表面。下面要進行的步驟是第一次光刻機光刻,后面還有顯影、刻蝕、離子注入等步驟。”
王院士不愧是老牌教授,基礎知識扎實,口才出眾,講解的深入淺出,即使喬瑞達這個第一次接觸芯片生產的新人,也聽了個清楚明白。
就這樣,喬瑞達跟在王院士的身后,將芯片的生產流程,從頭到尾的跑了一遍。由于要用到多重曝光技術,涂膠、光刻、顯影等步驟,要來回折騰好幾次,其間還要更換掩膜版和部分摻雜用料,耗時十分之長。所以當30片六寸晶圓,跑完所有工序,走下生產線的時候,已經是傍晚時分了。
加工完成的硅晶圓,表面多了一些花花綠綠的刻蝕圖案,看起來非常的漂亮。王院士親自動手,將這30片硅晶圓,放到一個密閉容器中,封存了起來,而后說道“今天時間不早了,就到這里吧,明天上午再去做切割和封裝測試,到時候就可以知道這次的流片是否成功了。”
喬瑞達跟隨在一群工作人員的后面,走出了無塵車間,而后排隊等待乘坐電梯返回一樓。
“從負一層到一層,只有一層樓的高度,還要排隊坐電梯,這也太奇怪了吧,就不能走樓梯嗎”
“你知道什么,無塵車間本身挑高就有五六米,在上面還有一個中間層,用于安裝空調、通風除塵設備。也就是說負一層到地面,至少有十米以上的垂直高度。更重要的是出于保密的需要,普通樓梯只做應急逃生作用,平時是關閉的,所以大家只能排隊乘坐電梯上下。”
在排隊等待期間,喬瑞達打開金手指,調出圖庫界面,在那里有一千多張嶄新的照片,是在今天拍攝的。照片的內容,正是隔壁無塵車間內的那套芯片生產設備。
“這些設備估計幾年內使用不到,除非有一天瑞達科技涉足到芯片生產領域。還是建個文件夾,保存起來吧,有備無患。”
想到這里,喬瑞達意念一動,一個名為“芯片生產設備”的文件夾出現在圖庫界面,而后今天拍攝的一千多張照片,全部轉移到了這個文件夾里面。金手指的功能還是非常強大的,只說這個圖庫,就完全沒有存儲空間限制,似乎再多的圖片也能夠裝的下。還有通過拍攝學習到的各種知識,也不知儲存在哪里,似乎塞再多也不會出現存儲空間不足,或丟失遺忘的現象。
“喬同學,想什么呢,趕緊上電梯。”
“來了,來了,今天站了一整天,實在是太累,剛剛差點睡著了。”
喬瑞達此時說的當然是托詞,不過也不算是謊話,今天跟著加工步驟,在芯片生產線上跑前跑后,走了太多的路,確實非常的疲憊。回到燕園校區309寢室之后,喬瑞達倒頭就睡,連晚飯都沒顧得上吃。
一夜好睡,第二天上午,喬瑞達又跟著王院士,走了一遍芯片的封裝測試流程。為了方便芯片的焊接測試,喬瑞達選擇了tqf封裝,也就是中間一個黑色方塊,四周引出密密麻麻幾十個引腳的那種封裝。
經過兩個多小時的等待過后,王院士將一個裝著數十枚芯片的塑料盒子,放在了喬瑞達的面前,說道“30片硅晶圓,一共切出了3300枚芯片,經過我們的詳細測試,合格品只有87枚,良品率還不到3。吶,合格品都在這里了,當然這些只是生產上的合格品,完美實現了芯片設計圖上的結構,具體能不能達到設計要求,還需要你拿回去,裝機測試才能知道。”
“好的,謝謝王院士,我這就拿回去測試一下。”
喬瑞達在收貨協議書上簽下自己的名字,而后拿起裝芯片的盒子,向周萬達和王院士辭別,而后驅車離開了大興校區。請牢記收藏,網址最新最快無防盜免費找書加書可加qq群952868558</p>