沈總管雖然不是專業人士，可是在來的路上，還是看了一部份的資料，所以此刻便問了出來。
王東來并不在意這一點，而是詳細地和沈總管解釋了起來：“asl在光刻機領域的霸主地位，并沒有多少年。”
“這其中，也不全是asl的功勞，它的70%的技術都是白頭鷹產品和白頭鷹技術。”
“比如說是鏡頭來自蔡司，asl擁有蔡司的20%多的股份，cyr的極紫外光源排名世界前列，被asl收購，光掩模板、機電設備、激光器、微激光系統、離子注入機套件、準分子激光源、電子束檢測設備等等，要么是被asl收購，要么就是asl入股。”
“正是因為有這些尖端技術的加持，所以才能讓asl的發展如此迅速，全球第一個拿出了沉浸式euv光刻機，領先市場。”
“我們國家的光刻機想要超過達到世界一流水平，就必須要從這些配件一個個地開始突破，只有這樣，才能達到這個水平。”
“這是我們跟在asl后面發展，想要追趕上來的唯一辦法。”
“如果這么做的話，根據我的估計，最低也需要十五年才能追趕上來。”
“但如果是我們換一種思維呢！”
“asl把光刻機做的這么小，所以它才需要這么多高端的設備和儀器。”
“它之所以做小，是為了可以出口售賣，賣給芯片廠商，為了方便運輸，為了方便搬運。”
“但如果我們拋棄運輸，售賣的想法呢。”
“直接把小小的一個光刻機變成一座光刻工廠，這樣一來，就能避開光刻機的很多技術要求了。”
“起碼，這么做的話，我們就未必需要最尖端的技術來組裝。”
“同時，一臺光刻機每天二十四小時工作下來，生產出來的合格芯片，也只有幾萬枚而已。”
“但是，如果由光刻工廠來生產的話，生產效率能在光刻機的基礎上翻上最低十倍之多。”
沈總管并沒有因為王東來說出來的這么多優勢而興奮，依舊保持著冷靜。
“你說的都是優點，我想半導體領域應該也有人能想到這一點，但是卻沒有人這么做，也沒有這樣的嘗試，這里面肯定還是存在著一些問題。”
“從目前的情況來看，應該是壞處多于好處，所以你說的光刻工廠可行性暫且不說，你如何能證明它建造完成之后，可以超過光刻機。”
聽到沈總管指出這個問題，王東來臉上浮現出一絲笑意。
“領導，您說的確實是一個很重要的問題。”
“關于這一點，我也可以做一個簡單的解釋。”
“光刻機也存在優點和缺點，它的缺點是光源相干性極差，使用反射鏡濾光單鏡光源損耗率30％，總損耗98％，asl使用的反射鏡全世界只有蔡司能夠生產。”
“第二，光刻機的錫污染以及光路散熱工程造成易損件成本增加，高na升級到600瓦光源功率，使得整機成本增加到四倍。”
“第三，光刻機的生產效率低下，以3400b來說，該euv光刻機的生產效率是每小時125片晶圓，還不到duv光刻機生產效率的一半，毫無疑問，該光刻機的生產效率不高，將直接導致芯片的生產成本居高不下。”
“最后，便是光刻機的耗電量大，tjd的所有euv光刻機開工用電量將會占用半個三峽電站的發電量。”
“至于光刻機的好處我就不提了，我再說說光刻工廠的優缺點。”
“缺點有一點很重要的，那就是波蕩器、扭擺器、尾場激光器三大件，不能產生瞬間磁場的彎鐵必須淘汰，還沒有這樣的裝置進行驗證。”
“如果說光刻機是機床的話，光刻工廠就是一個車間，把光刻機盡量放大，用一臺周長100到150米的環形加速器來作為光源，然后帶動數臺甚至是數十臺光刻機進行工作。”
“我們在追趕荷蘭的光刻機時，如果只想著因循守舊，走人家的老路，很難在短時間內完成超越。”
“我們必須要另辟蹊徑，開發出新的技術路線。”
“光刻工廠，就是我想到的最好辦法！”
聽完王東來的話，沈總管陷入了沉默之中，久久沒有言語。最近轉碼嚴重，讓我們更有動力，更新更快，麻煩你動動小手退出閱讀模式。謝謝</p>