常勁林更是說了,等過幾天吧,他要親自去九洲工業公司看一看,順便也感謝唐飛,為紅星廠解決了這么大的一個難題。
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經過一番前期準備之后,生產制造IGBT的時機已經成熟了,唐飛親自選了一個好日子,開始了自己第一只大功率IGBT的生產制造。
IGBT的核心是芯片和大規模集成電路,這樣核心的東西,當然是九洲工業有限公司自己生產制造。
芯片制造的第一步要用到光刻機和圓晶切片。
光刻機九洲工業有限公司有一臺,還是世界先進的大型高精度光刻機,用來生產制造IGBT芯片小菜一碟。
第一批圓晶也采購到位了。
圓晶,是指硅半導體集成電路制作所用的硅芯片,由于其形狀為圓形,故稱為圓晶。圓晶是生產集成電路所用的載體,一般意義晶圓多指單晶硅圓片。
晶圓是最常用的半導體材料,按其直徑分為4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等規格,近來發展出12英寸甚至在研發更大規格的。
九洲工業有限公司采購的是8英寸圓晶,進口的。沒辦法,這個時候的國內的圓晶質量還無法和進口相比,應該要再經過十幾年的發展吧,國內的圓晶廠才能做出具有國際一流水平的圓晶。
光刻機單獨一棟恒溫無塵大廠房,這是九洲工業有限公司的寶貝,自然重點照顧。
馬上要進行芯片的生產,唐飛到了生產現場。此外,還有不少的技術專家和技術人員。
如趙可,如孫旭和唐中華兩位專家,好幾名技術人員,在這里的工人也是經過精心挑選的,要求很高,一般的工人不能進入這棟廠房內,更不要說親自操作這臺光刻機。
在技術人員的指導下,“全副武裝”的幾名工人在進行圓晶切片的仔細清洗,這是第一步。
然后還要經過涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等多道工序。
圓晶切片就像一面薄薄的,非常光滑的鏡子。光刻,就是將設計好的芯片電路結構光刻到圓晶切片上。
光刻好的圓晶切片,每一片能生產出數千計,甚至上萬片的芯片,就像印刷一樣,光刻好的圓晶切片就是印刷的模板,光刻就相當于排版。
工人們一絲不茍,非常謹慎的嚴格按照工藝要求操作著,清洗圓晶片,在圓晶片上涂光刻膠,對準曝光,烘干,顯影等等……
當第一片光刻完的圓晶片被做出來之后,唐飛心中微微激動,心中想到,這應該是國內第一塊吧。
孫旭和唐中華親自認真的檢查這塊完成光刻的圓晶切片,兩人用十分挑剔的眼光,找出了幾處小缺陷。
于是,針對這些缺陷經過工藝參數上的完善,改進等,再接著又光刻第二片圓晶切片。
一連做了好幾塊之后,終于沒有發現任何的缺陷,工藝也穩定了下來,操作光刻機的那幾名工人也技術嫻熟多了。
“老板,您來看一看,這片圓晶堪稱完美,幾乎沒有任何的瑕疵。”唐中華對旁邊的唐飛道。