所有的生產設備全部調試完畢,達到了生產狀態,在某一些生產設備旁邊,能看到技術人員,也能看到生產工人。
第二天。
唐飛又到了生產現場,昨天下午啟動二氧化硅的脫氧提純,第一批冶金級硅應該已經生產出來了。
沒錯,就是冶金級硅。
晶圓生產制造第一步就是硅提純。將二氧化硅原料放入一個溫度約為2000℃,并且有碳源存在的電弧熔爐中,在高溫下,碳和沙石中的二氧化硅進行化學反應(碳與氧結合,剩下硅),得到純度約為98%的純硅,又稱作冶金級硅。
這對微電子器件來說不夠純,因為半導體材料的電學特性對雜質的濃度非常敏感,因此對冶金級硅進行進一步提純。
一般而言,冶金級硅的純度98%左右,質量好的廠家,普遍能將純度控制在98%以上。
唐飛走進生產廠房的時候,已經看到了王興奎等人的身影,也看到了工人們在準備第二步工序,準備將冶金級的硅進行進一步的提純,達到電子級硅的等級。
“老板,第一批冶金級硅已經生產制造出來,您看一看,這是檢驗報告!”
唐飛接過這份檢驗報告,一看就高興的道:“好家伙,一炮打響,咱們生產的冶金硅的純度達到了99%以上,了不起。”
王興奎謙虛的道:“主要是我們生產設備好,生產工藝也還算不錯。”
唐飛知道,除了這些方面的原因之外,還有一個重要的因素,那就是自己質量+2的UBFF在悄悄的發揮作用。
冶金級的硅質量都這么好,那最終生產制造出來的成品,也就是晶圓能達到什么樣的質量程度呢。
這非常值得期待!
冶金級硅被堪稱完美的生產制造出來,下一步就是生產制造電子級硅。
將粉碎的冶金級硅與氣態的氯化氫進行氯化反應,生成液態的硅烷,然后通過蒸餾和化學還原工藝,得到了高純度的多晶硅,也就是電子級硅。
在技術人員的指導下,工人們已經在開始電子級硅的生產制造。
第一批電子級硅也被成功的被生產制造出來,其純度高達99.999999999%。然后是后續一系列的工序,直至生產制造出合格的晶圓。
這些天,唐飛基本上一直待在九洲電子,甚至連萬恒地產集團都沒有時間去。
晶圓的生產過程還算比較順利,脫氧提純,生產出冶金級硅,接著又生產出電子級硅,后續一道道工序在進行。硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟:硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型。
唐飛幾乎沒有離開過九洲電子,直到第一批晶圓被生產制造出來。
成品的晶圓呈現薄薄的圓片狀,直徑八英寸,也就是八英寸的晶圓。它們看上去非常的漂亮,表面光滑如鏡。
楊成林高興的大聲道:“老板,首批晶圓生產制造出來了!”
旁邊的王興奎也興奮的道:“這就是芯片和集成電路的基本原料——硅晶圓片,這就是‘晶圓’。”
第一批晶圓被成功制造出來。
唐飛很高興,朗聲的道:“這應該是我們國內生產制造的首批八英寸的晶圓,這是零的突破。”