高盧,國際工業展覽會。
展廳很大,典雅豪華,就像是雄偉的宮殿一樣。
在這展廳之中,一臺來自東方的光刻機,吸引了所有人的目光。
“各位,這是我們東方華清大學研制的自動對準分步投影式光刻機,使用它可以實現最細0.8微米的線寬加工……”
展臺前面,一名五十來歲的老干部,滿臉驕傲地給一眾西方人介紹。這可是國際工業的盛會,東方還是第一次參加,能拿得出手的東西可不多,但是,這光刻機絕對是其中之一!
現在,把這個展示出來,可以展示東方工業的風采,這可是個向全世界介紹東方的好機會,絕對不能有閃失!
“請問,這個自動對準是什么意思?”很快,一名西方專家就聞聲而來,開口詢問。
“這個是指光刻機能夠自動調整硅片和掩膜版之間的對焦,這樣可以保證圖案能夠精確復刻到硅片上。”老干部信心十足地介紹,這些都是提前背過的,難不倒他!
“請問,這是怎么自動調整的?”
“這個嘛……”老干部一時間語塞了。
這個沒背過!
“它使用的是電機調整,還是液壓調整?”
“對焦的原理是什么,它怎么知道已經對焦成功的?”
一問三不知!
老干部趕緊看向身后的幾名一起出國的人員,他們紛紛低頭,他們也不知道啊!
設備是華清大學搞的,出國名額有限,所以就沒有分配給這些設備的研發人員,現在是一問三不知啊!顯然,那些外國人已經懷疑了:你們該不會是吹牛吧?
“請問,這個分步投影……”
這個背過!老干部開口:“這是分布曝光的方式,每次只曝光一個小區域,然后移動硅片到下一個區域繼續曝光,直至整個晶圓上的電路圖案全部復刻上去,這樣做的好處是可以讓光刻機處理大尺寸晶圓,四英寸,六英寸,甚至八英寸的都可以……”
“那每次曝光的區域是多大?”
“曝光之后的移動,如何保證邊緣部分的重合?”
“如果一次不夠,是否可以多次曝光?”
一個個專業問題提出來,老干部又不會了,他的額頭上,汗水嗖嗖地向外冒。
終于,一旁的記者看出來了端倪。
“請問,貴方這種光刻機,真的有您說的這種能力嗎?”
“東方工業落后,怎么可能研制出來比西方更加先進的光刻機?”
“沒錯,你們這是重復之前的浮夸風嗎?”
老干部臉色難看,看向身后的人:“立刻和國內聯系,把華清大學光刻機的技術人員叫來!”
“可是……出國名額……”
“向相關部門申請!關系到我們的國家尊嚴!”
十幾分鐘后。
“沈先生,你們是因為保密的問題,不愿意向我們西方展示貴方的光刻機技術嗎?”展覽會的主辦方負責人來到了東方展臺后面,向老干部問道。
各個公司都有屬于自己的機密,如果是因為這個問題,那他們還能理解。