周博和姜明尚站在無塵車間的觀察窗前,注視一塊高純度硅錠被送入切割臺上。
硅片廠生產線還沒有投產,眼前的硅錠是從滬江運送過來,用于試生產的,
隨著巨大的金剛石切割刀緩緩落下,硅錠被切成一片片薄如蟬翼的晶圓。
這些晶圓將被送往下一個車間,進行打磨和拋光。
接下來就是光刻工序,也是整個制造過程中最核心的環節。
姜明尚皺眉道:“前幾道工序都沒問題,但光刻車間的良品率始終上不去。
我研究了幾天,始終沒找到問題所在。”
周博笑道:“萬事開頭難,gk-1是第一臺光刻機,有問題很正常,沒問題才奇怪。”
兩人一邊說著,一邊來到光刻車間。
車間中央橫置著一臺龐然大物——gk-1干式光刻機,幾名技術人員正圍在操作臺前。
“怎么回事,又是圖案粘連!”一名技術人員苦惱道。
“會不會是光刻膠有問題?”
“不應該,都是一樣的調配流程,在滬江好用,到了粵州就出問題?
沒道理呀!”
“是呀,真特么見鬼了!”
“原來的流水線不是挺好嗎,一做成整機就出問題,自找麻煩!”有人抱怨道。
“整機在滬江測試過,也沒問題呀!”
“到底怎么回事呢?”
眾人議論紛紛,看到周博和姜明尚走過來,立刻向二人打招呼。
“周總工,姜總工!”
都是電子廠的老人,還是習慣用以前的稱呼。
姜明尚問道:“怎么樣,這次良品率多少?”
“10片芯片,只有1片能用,其他全部出現圖案粘連現象!”
10%!
這良品率實在有點可憐。
周博也皺起眉頭。
光刻機在滬江時測試過的,怎么到了粵州就水土不服?
“給我看看!”
一名技術員將一塊剛下線的芯片遞了過來。
周博來到顯微鏡前,將芯片放在物境前固定好,看了起來。
鏡頭中,本該清晰的晶體管線條像被水暈開的墨跡,模糊成團。
這就是所謂圖案粘連。
看完之后,周博沒有說話,走到了光刻機的操作臺前。
暗暗在腦海中發出指令。
“分析gk-1光刻機···”
【叮!】
【系統分析開始···】
【光刻機型號:gk-1】
【分析結果如下:】
【1.光源系統正常。
2.對準與調焦系統正常。
3.雙工件臺系統正常
4.掩模輸運與定位系統正常···】
系統分析完畢,光刻機一切正常。
周博嘆了一口氣,心中也犯了難,問題出在什么地方呢?
系統也不是萬能的,現在要靠自己定位問題了。
“大家有什么看法!”周博先詢問眾人的意見。
姜明尚道:“每次都出現圖案粘連,我還是懷疑光刻膠有問題。
但是又查不出來!”
周博點點頭。
現在他們所用的光刻膠,是從雞蛋清里提取出來的,調配過程是周博經過多次實驗確定下來的。
一年多來,在電子廠車間產線上使用,從來沒出過問題。