“不過它對我們而言，也不是完全沒有價值的。
各位，我。”
陳磊說：
“nil光刻機路線不一定有未來，但它所蘊含的技術未必就沒價值。
我們完全可以把這項技術中有價值的給拆出來，用在我們的光刻機路線上。”
陳磊的話，讓在座的其他專家一下就打起了精神。
“這幾天我一直在復盤佳能那臺fpa-1200nz2c的每一個細節。
它的核心那個納米壓印的‘模頭’，以及配套的uv固化系統，對我們來說是毒蘋果，因為它和我們的duv體系不兼容，而且捆綁了材料陷阱，我們后續如果林總給不出解決辦法，那么我認為我們必須堅決地把它剝離掉。”
他拿起筆，在筆記本上nil結構圖的壓印核心部分，畫了一個大大的紅叉。
“但是，”他話鋒一轉，用筆圈出了結構圖的另外三個部分，“這臺機器的骨骼、神經和循環系統，對我們來說，有著非凡價值。”
王工饒有興致地問：“陳博士，具體說說？什么是它的骨骼、神經和循環？”
陳磊博士：“骨骼，我指的是它的超精密工件臺系統。”他指向圖紙的底座部分。“nil是接觸式光刻，每一次對準和移動，對工件臺的平順性、穩定性和定位精度的要求，比我們想象的還要苛刻。
佳能畢竟是光學和精密儀器巨頭，他們在運動控制、減震和材料學上的積累非常深厚。
我們的光刻機現在最大的瓶頸之一，就是工件臺在高速運動下的穩定性和套刻精度。
如果我們能徹底摸清佳能這套系統的設計邏輯、控制算法和驅動方式，哪怕只是學到七成，我們的套刻精度指標至少能再提升50%。
這是我根據公開資料的猜測，具體多少，要等到我們把佳能的技術融入到我們的工藝之后才能有更進一步的具體判斷。”
王工摩挲下巴：“如果真能這樣，我們的良品率還能提高一大截。”
陳磊接著說道：“是的。
然后是神經系統，它的全流程缺陷檢測與測量單元。
nil的致命弱點是缺陷率，所以佳能肯定在機器內部署了全世界最頂級的實時檢測系統，用來在壓印前后快速掃描晶圓，定位納米級的顆粒和圖形錯誤。這套技術是通用的。
王總，我們的產線現在主要依賴離線抽檢，效率低，而且很多缺陷發現時已經晚了。
如果我們能把這套神經系統移植或復制過來，集成到現有工藝流程里，我們的良率又能爬上一個大臺階。
無論是國產生產線，還是說用asml的那些生產線，都能用到這個系統。”
“最后一個，循環系統呢？”另一位李工問道。
陳磊說：“這就是我認為最有價值，也最意想不到的部分：噴墨式精準涂膠系統。”
他指著nil設備中那個類似打印噴頭的裝置：“傳統的duv光刻，是用旋轉甩膠的方式給晶圓涂上光刻膠，超過95%的昂貴光刻膠都被浪費了。
而nil為了精準壓印，開發了類似噴墨打印的技術，需要哪里有圖形，就在哪里噴涂一滴樹脂，用量極省，而且均勻性可控。”
他看向李工慢慢說道：“李工，想象一下，如果我們能把這套噴墨技術嫁接到我們的duv產線上，用來噴涂我們自己的光刻膠。
這意味著什么？光刻膠成本能驟降90%以上，邊緣效應和甩膠不均的問題將成為歷史。”
華國人就是這樣，在沒有路的時候也要找到路，陷阱也要給你找出價值來。
只是陳磊想不到的是，林燃壓根想的不是拆解，而是在此基礎上來重構整個光學系統。
華盛頓特區，哈特參議院辦公大樓，聽證會室內，室內的空氣因憤怒和焦慮而顯得格外沉悶。
商業、科學和交通委員會的所有參議員都已就座，他們身后，是擠得水泄不通的媒體記者和來自各大航空航天承包商的、西裝革履的說客。
馬斯克獨自一人坐在證人席上，穿著一身略顯不合身的深色西裝。
“局長先生，”委員會主席，一位來自德州的象黨資深參議員，語氣不善地開始了質詢，“這個國家的人民想知道，兩周前，當華國人在月球上用核反應堆和電磁軌道，像打高爾夫一樣把東西送回地球時，我們nasa在哪里？我們的月球計劃在哪里？為什么我們花了納稅人上千億美元，得到的卻只有幾頁ppt和不斷延期的阿爾忒彌斯計劃？