十一年前徐國士總領光刻機研發的時候,手里匯總了當時國內各大研究所能夠用于光刻機制造的華國最頂尖技術。
其中自然也包括了軍方秘密研究部門在激光上面的研發成就。
正因為有著軍方科研成就支持,徐國士團隊很快就攻克了光刻機光源部分。
那時候徐國士就知道,華國的激光研究已經走在了世界前列。
在陳國泰提起西方光刻機光源之前,由于西方對有關光刻機的一切都封鎖得十分嚴密,徐國士一直都不太清楚西方光刻機的光源構成。
現在聽陳國泰這么一說,徐國士才無比驚訝地發現,華國已經在光刻機上運用了十年時間的氦—氖氣體激光器不但沒有落伍,現在居然還在領先!
這當然讓徐國士由衷地感到自豪。
但在自豪之余,徐國士又為陳國泰的敏銳推測而感到無比吃驚。
“這其實并不難猜,很容易就推論出來......徐老師,根據我們得到的情報,目前西方光刻機的最大加工精度已經達到了0.8微米,也就是800納米。不知道咱們光刻機的加工精度達到什么程度了?”
陳國泰微微擺了擺手,充滿希冀地問道。
他如果沒有記錯的話,國內光刻機的最大加工精度在今年也要達到800納米。
“......國外也是800納米嗎?小陳,實不相瞞,國內即使采用了大大優于高壓汞燈的氦—氖氣體激光器作為光源,最大精度也才剛剛達到800納米......按理說,氣體激光光源由于波長更加理想,最大加工精度在理論上可以達到200納米左右......但是因為國家在精密加工上面的短板實在太明顯,我們生產出的零部件精度遠遠不夠,暫時只能達到這個程度......我們以后雖然可以在設計上繼續深化,但是生產加工已經難以為繼......就算不計損耗地堆積資源都不行。”
徐國士輕輕地搖了搖頭,語氣有點低沉,憂心忡忡地說道。
“......徐老師,根據情報,國外因為光刻機的研發需要,他們現階段其實也開始了氣體激光器的研究。如果他們研發成功,有他們的精湛精密加工技術支持,他們很快就要在光源方面趕上甚至超過我們華國。那時候,差距將更加明顯。”
陳國泰略略沉默了一下,輕聲說道。
他大概記得,西方世界在八十年代后期就開發出了光刻機第三代光源氟化氪準分子激光,將芯片最大加工精度一舉提升到了180納米左右。
前世的漂亮國在1988年投入首飛的b2隱形轟炸機,上面搭載的芯片就是192納米制程。
“......是啊。國家在工業上欠缺得太多了。落下的‘課程’不知道要多久才能補完?”
徐國士油然嘆息道。
“徐老師,我再給你透露一個西方光刻機研究的絕密情報。西方研發氣體激光器的方向暫時是在氟化氪上面。據說氟化氪激光器的最大分辨率能夠達到180納米。他們更提出了氟化氬這個預研方向。據說氟化氬激光器的最大分辨率可以達到45納米。我想這個消息應該對你具有一定的參考價值。”
陳國泰略微想了想,語氣很是認真地對徐國士說道。
氟化氪光源是第三代光源,氟化氬是第四代。
雖然西方世界很大可能才剛開始研究氟化氪,氟化氬還連影子都沒有,但并不妨礙陳國泰將這個消息提前透露給國家知道。
“真的嗎?小陳,你提供的這個消息如果是真的,那價值就太重大了!我們正在探索怎么在氦—氖激光器基礎上繼續改進,你這一下子就指出了明確方向......”
徐國士一下子激動起來,目光灼灼地盯著陳國泰說道。
“徐老師,情報是這樣,但具體是不是,還得你們進行仔細驗證。”