高懷鈞雖然有認知金手指,但是有些東西,不是你想搞就能搞。
雖然他有后手,但是,現在暫時還不想有所動作。
他想提升光刻機在華國的優先度!
為此,騙人先騙己,就算是高瓴內部,他也是要逼迫他們迸發最大的潛力出來。
“光刻機。。。”
“我知道,伱們高瓴一直對05專項計劃注入了資金,讓這個項目有了實質性的進展。”
“不過。。。”
說到此處,張領導說話之間有些猶豫。
對于光刻機的進度,他比任何人都清楚。
在原來的05專項計劃之中。
項目的目標,是利用世界上各種零部件,組裝出一臺實用的duv濕式光刻機出來!
不過,因為高懷鈞希望有b方案,并且提供額外的研發資金,希望能夠有自主可控的零部件配置。
所以05專項計劃,不出意外地時間拖延了。
高懷鈞無奈,但也沒法。
因為光刻機這玩意兒,最大的難點是三個。
一個是光源。
要產生13.5納米波長的極深紫外光,目前的做法是用高功率的激光轟擊一個直徑只有三千萬分之一米的小錫球(就是金屬錫的錫)。
這種激光器全世界只有一家德意志國公司能生產,這家叫通快的德意志國公司用了十年時間才研發成功,單單是這臺激光器就有45700多個零件。
但沒想到的是,通快公司的這臺激光器又依賴于一家立陶宛的公司提供關鍵設備,沒有這家立陶宛公司制造的光源設備,通快公司也不行。
下一個難關是如何把這種極深紫外光收集起來,形成一束極深紫外光的激光。
光學系統。
為euv研制的這套光學系統全世界也只有一家德意志國公司能制造,它就是大名鼎鼎的蔡司公司。
蔡司生產的相機鏡頭是世界上最好的鏡頭之一,可是相機鏡頭與euv光學系統用的鏡頭比起來,那就好像是螺旋槳撒農藥的飛機和噴氣式戰斗機的差別了。
這套光學系統至少涉及以下這些技術挑戰:高精度非球面加工,多層膜反射鏡,高質量熔煉,離子束拋光技術,極限精度磨制。
最終的目標是要制作出一片絕對光滑平整的鏡片,要光滑到什么程度呢?
就是三體中水滴的那種光滑程度,鏡片的起伏就是大約一個原子的誤差,接近理論上的物理極限。
如果用蔡司自己的宣傳比喻,就是把這片鏡片放大到整個德意志國那么大,起伏也沒超過0.1毫米。
如果一個病毒落在這片鏡子上,那就好像拔地而起一座百米小山。
最后一個是控制臺。
這就是精密儀器工作臺。
為了把幾百億個晶體管刻成,需要一個精度極高極高的控制臺,這個控制臺由55000個高精度的零件構成,而這些零件又至少依賴于島國,寒國,呆彎,美麗國,德意志以及賀蘭等國家提供的專利技術,少了任何一個都不行。
現在這臺光刻機需要做到自主可控,就不是以1敵1,而是以一敵眾了!
以前工信部對于這臺05專項的光刻機也不是很上心。