離開了這里,羅晟和幾個技術負責人來到了隔間的一間會議室再做討論。
一位友商伙伴的技術代表負責人發言道:“獲取波長13.5納米的光是實現EUV光刻的一個重要步驟,激光等離子體極紫外光源由于其功率可拓展的特性,成為了極紫外光刻最被看好的高功率光源解決方案。”
“但時間表延后有兩大原因,一是所需要的光源功率暫時還無法達到250瓦的工作功率需求,二是光學透鏡、反射鏡系統對于光學精度的要求極高,生產難度極大,難以支撐龐大的研發費用。”
聽到這話羅晟笑了,原來是有難處啊,而且這個難處直指小錢錢的問題。
羅晟笑道:“這個兩個原因可以歸結為一個原因,錢的原因,你就直說你們缺錢不就行了,我都在光刻機上面砸了幾千個億了,不在乎后面幾十上百億的,能解決問題,掏個百把億這點錢我怎么都不會吝嗇,只要別像鵬星精密那樣騙我的錢就是了。”
眾人不禁低低的發笑,友商略尷尬而又不失優雅的連連說道:“羅總說笑了,鵬星精密那是屁股不正,吃里扒外更目光短淺。”
羅晟點頭:“那就好,各位,還有誰缺錢的都直說吧,一并解決了,我是不相信只有一家有難處。”
眾人大囧。
不夸張的說,蔚藍海岸和晟峰資本是真的幾乎供養了這五年來光刻機研發的全部費用,超6000多億的研發經費已經燒掉了,友商伙伴們就算是把他們的底褲當掉也湊不齊這個數。
沒有家族基金的底子在那兒擺著,還真不敢這么玩兒。
不過羅晟給錢不是白給,而是以長期性質的價值投資的形式完成資金匯入,將來大部分友商伙伴的企業都是要在大A上市的,晟峰資本可以選擇持有或賣出都行。
羅晟都把話說到這個份上了,有難處的各大友商伙伴也不矯情了,也就紛紛把自己難(que)處(qian)的事情都說了出來。
結果如羅晟意料的一模一樣,錢的問題。
只是錢的問題在羅晟這里算不得什么大問題,甚至都不是問題,自然是給了,都已經投入這么大了,這次總共融資額度600億元左右,不是很多但也不小。
蔚藍海岸出其中70%,晟峰資本出剩下的比例,原因是后者現在的錢在大A布局,還找蔚藍海岸拆借了一筆錢確保自身的流動性,家族基金當然有的是錢,但周轉起來比較麻煩。
會后,羅晟再次來到了無塵工作室,探查了一下工作環境然后把負責人召集過來吩咐道:“要注意極紫外光刻機要把光壓到這么短的波長,需要極高的能量,確保供電問題不出紕漏,還有安全問題。”
“明白,羅總請放心。”
為了提高產能,將光源功率不斷提高來提升曝光的節拍,需要更高的用電需求。
所以,光刻機的極低能源轉化率導致了極高的耗電量,只能用極端的耗電來出大力出奇跡。
極紫外光刻機設備除了零部件昂貴,技術復雜外,極高的耗電能力也是一絕。
首先,要得到這樣高功率的極紫外光,需要功耗超強大的激光器。
這樣的激光器在工作時會產生很大的熱量,這就需要配上一套卓越的散熱冷卻系統才能確保設備正常運作,而這又需要消耗大量的電力。
其次,在修正光的前進方向時,每一次反射仍然會損失三層左右的能量,經過十幾面反射鏡,將光從光源一路導到晶圓,最后大概只能剩下不到2%左右的光線了,而被吸收的能量就必須要用到大功率散熱系統進行冷卻。
在極紫外光刻機設備的技術研發投入上,羅晟比競爭對手A**L公司多了三四倍之多,這也是沒辦法的事情,A**L技術底子在哪里,而羅晟是幾乎從零開始做起。
另一個原因在于A**L還有三大客戶三星、抬積電、英特爾共同投資了52.59億歐元研發EUV光刻機。
而羅晟只能自己掏錢,至于那群隊友,前期都是賠錢貨,甚至還有騙錢。