既然猜到了曲慧極有可能是在雙工件臺技術上取得了突破,蘇遠山接下來可就真有點坐不住了。
但他太了解曲慧了。
這姐妹兒,干練豪爽不說,還古靈精怪……既然打定主意要給自己兜圈子,那自己怎么問都是沒個結果的。
好在一小時并不長,當他打開一篇最新的石墨烯領域的paper后,時間便迅速流逝起來。
嗯,主要是他現在難得遇到一篇不灌水的石墨烯論文。
……
一小時后,曲慧與鄭振川如約而至。
“鄭叔,慧姐,好久不見。”蘇遠山早已在客座沙發旁等著,就連茶都已經準備好了。
“嗯,是有不少時間了。”曲慧出乎意料地留了頭發,還梳了個馬尾,脖子上圍著絲巾。她笑呵呵地坐到蘇遠山對面。
“這下可以說了吧,到底是什么驚喜——別讓我猜啊。”
“其實就是工件臺成了。”曲慧一副云淡風輕的表情,端起茶杯吹了口氣后笑瞇瞇地道:“你猜到了是吧?”
“你和鄭叔一起過來,不是光刻機的事還能是啥?”蘇遠山一攤手,笑道:“讓我干等了一個小時,再驚的喜也給整沒了。”
“害!我就應該給周小慧偷偷打個電話問一下的——對了,周小慧呢?”
“不知道,估計是在天駒那邊吧。今天德儀那邊剛好有人過來,她去接待一下。”蘇遠山頓了頓,望向鄭振川:“鄭叔,別告訴我,你們已經將工件臺用在光刻機上了。”
“哈哈,當然沒有。”
鄭振川放下茶杯,沖蘇遠山樂道:“你先聽小曲的,等會我再說。”
“嗯……”蘇遠山聽到鄭振川這語氣,頓時心中多了幾分“警惕”起來。
這老爺子,語氣聽起來不對吶!
感情這次不是單純的“報喜”,似乎還有套等著自己。
不過他依舊不動聲色,整個人放松了姿勢:“曲慧姐,你說,工件臺到底怎么樣了。”
“成了,但有點麻煩。”曲慧知道蘇遠山對光刻機傾注的心血不比晶圓廠少,此刻也不開玩笑,正色了起來:“你知道的,制約國產光刻機精度的最大敵人就是精度。”
蘇遠山點頭:“嗯,不用你說,我就算再不懂機械也知道。”
“精度的最大問題又會最終落在電機控制,材料,加工精度上。”曲慧抿著嘴,慢慢道。
“雙工件臺的構想是根據華羅庚先生的統籌方法思想而來,原理就是把在曝光過程中處于等待狀態下的流程先走一步。實現一個工件臺曝光,一邊進行測量對準等工作。等到曝光完畢,就可以不用再測量對準,從而直接就可以移動平臺,然后曝光。”
“根據我們的估計,在目前的工藝水平下,采用雙工件臺除了可以提高30%以上的效率之外,還可以略微提高精度——別的不說,10%起碼有的。”
蘇遠山再次點頭:“然后呢?”