“我們這次取得的突破，是在運動定位模塊和流程控制系統上。”
蘇遠山聽得眉毛一揚！
他哪怕對雙工件臺的設計和原理再不懂，他也知道，實現雙工件臺最困難的地方便是運動定位系統，是真正的“牽一發動全身”“差之毫厘，謬之千里”。
而且蘇遠山還知道，ASML的初代雙工件臺，其實效率并不十分高，只能說略有提升——就是因為控制系統不成熟。不然也不會直到浸沒式光刻機出來之后才正式宣判尼康和佳能死刑。
雙工件臺技術真正的成熟，還必須等到磁懸浮技術誕生。只有那樣，才能把誤差縮短到極限。
但一切的前提還是控制系統。
那么……既然都已經取得突破了，還有什么麻煩？
“那麻煩在哪？”
“麻煩在于，我們目前只能實現0.5微米的精度。”曲慧緊縮著眉，凝望著蘇遠山道：“而且，精度越高，摩擦系數和阻尼作用就越強。我有點擔心，它在未來能不能追上光刻機的步伐。”
“我給你坦白吧，目前首精上下普遍都很振奮——我雖然也高興，也知道不能潑冷水。但如果工件臺無法用在最先進的光刻機上，那它的意義就少了許多。”
“還有一點，我們目前的工業基礎，只能允許我們做到這個極限。”
蘇遠山沉默地聽著曲慧的介紹，終于明白了她的憂慮在哪。
幾秒后，蘇遠山微笑著搖頭：“曲慧姐，其實你們已經很厲害了。”
他這句話不是安慰人，而是真心這樣認為。
雖然他很少直接去首都精科那邊，但各種支持從來都是不遺余力的。要什么協助給什么協助，就算要機床，他也在前年的時候費盡周折地搞了一臺。
所以，雙工件臺名義上是首都精科一個企業搞的技術，但實際上，卻是一個由原首都精密儀器研究所，遠芯，志遠，清華這四方巨頭聯合進行的一次技術攻關。
從陣容上，這個團隊就已經堪稱豪華了。
要知道，搞機械，特別是精密機械，它不比搞程序設計。
程序設計可以叫囂“只有想不到，沒有做不到”，但機械設計還真是，你能想到，但基本上辦不到。
雙工件臺的構思說白了，就如曲慧所說的那樣，源自華羅庚老先生的統籌方法——就是在等待燒開水的過程中就把茶杯洗干凈，茶葉拿出來丟進杯子里，順便還擰著暖水壺在一旁等著，只要水開，馬上就能泡茶，裝水，一氣呵成。比等水開了再去找茶葉洗茶杯要節約很多時間。
但真要實現起來卻不簡單，畢竟這是兩個工件臺的協同配合，而且要保持高速運動下的0.5微米的運動精度——其難度相當于在兩架并肩飛行的飛機上，其中一架飛機伸出一根桿子，在對面的機身上刻0.5微米大小的字。
至于為什么曲慧會在取得如此的成果后依舊保持冷靜乃至憂慮……蘇遠山完全能夠理解。
因為曲慧剛出校門就進入了遠芯，親自參加了EDA的誕生，又親眼見證了遠芯在各個領域的崛起。
說白了，就是曲慧所參與，所看到的，全是世界頂級的技術成果。
雙工件臺雖然出來了，卻無法給國產光刻機帶來本質上的技術飛躍。
她不甘心。