“這樣,曲慧姐,我給你指一條方向。”蘇遠山不知道雙工件臺技術接下來要具體往哪一邊走,但蘇遠山卻知道雙工件臺的未來在何方。
“嗯?你說什么方向。”
“目前工件臺的最大難點還是在于高速運動下所導致的一系列麻煩,所以……如果要把目光瞄準到十年,二十年之后,瞄準到納米級精度的話,我認為,只有一條路,就是磁懸浮。”
“磁懸浮?”曲慧聞言一怔,直愣愣地望著蘇遠山。
鄭振川也驚訝起來:“小山,磁懸浮能用在工件臺上?”
“不是磁懸浮能用在工件臺上,而是工件臺要擺脫摩擦和阻尼的桎梏,實現超精密運動控制,在現有的自然科學和機械空城的框架下,就只有磁懸浮這一條路。”
曲慧沉默數秒后慢慢點頭,喃喃道:“是了,磁懸浮技術可以最大作用地發揮我們的運動控制模塊的優勢,避開短板。”
“可是,那個難度怕是有點大吧?現在有沒有超精密的磁懸浮運動控制案例和方案?”鄭振川則想了想,遲疑地問道。
“不知道,但管他呢!”曲慧吸了口氣,整個人瞬間振奮了起來,望向蘇遠山道:“小山,你真覺得那是個方向?”
“我能想到的唯一方向。”蘇遠山鄭重點頭。
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有了新方向的曲慧再無心交談,轉而去蘇遠山的書架翻了一本物理書來看。
見曲慧這模樣,蘇遠山也在心里暗暗發笑——曲慧別看已經三十歲了,可長期以來身處科研一線,身份身家都無與倫比,以至于心態還是小姑娘心態。
“鄭叔,怎么說?”蘇遠山起身給鄭振川斟滿茶水,笑呵呵地問道:“你別告訴,你是來推銷光刻機的。”
“嗯,還真是。”鄭振川從剛才蘇遠山口中的磁懸浮工件臺的設想中回過神來,笑著道:“我們拿到了蔡司的鏡頭和Cymer的KrF光源,接下來就能量產最低0.18微米工藝節點的光刻機了。”
“我靠!”
蘇遠山眼珠子一瞪,差點沒從沙發上彈起來:“怎么拿到的?”
“呵呵,別激動。”鄭振川好整以暇地抿了一口茶:“怎么樣,要不要來兩臺?”
“等等!”蘇遠山馬上便清醒過來:“別拿空頭支票來忽悠我,先說清楚,什么時候可以可以出廠。”
“最多半年。”
聽到這個半年,蘇遠山又默默地算了一下自家光源的時間,這才慢慢平靜下來,笑著罵了一句:“NND,帝國主義亡我之心不死。”
“是啊……但這樣好歹能把咱們的光刻機與尼康佳能的距離縮到只有一代了,對吧?”
“嗯,這倒是。”
蘇遠山含笑望著鄭振川,突然越看越覺得這老頭有點像“買辦”了。
很顯然,在這個時候,蔡司和Cymer突然對國產光刻機放行,除了有霓國同行的競爭之外,還有就是有把國內的光源和鏡頭技術“扼殺”在搖籃的想法。