這一消息無疑一場晴天霹靂,把陳所長震得心神恍忽,隨后露出不敢置信的神色。
好吧,雖然之前燧人科技在發布會上說了可以通過其蜂巢復眼鏡頭技術制成極紫外光源,但那只是可能。
加上花為的牽線,長光機電所就答應了和燧人科技的合作,只是也沒有指望燧人那么快能夠造出來。
可是現在才過了幾個月
就這么把極紫外光源造出來了
這是開掛了吧
坐火箭的速度也沒有這么快的
“這消息千真萬確”
“比珍珠還真。”
“”
掛斷了電話,陳所長沉默了一下,然后就不澹定了。
直接喚來自己的小助理,“小李,趕緊去給我訂最近一半去鳳城的機票,我要去燧人科技切記一定要快”
“好
我馬上去訂票”
小助理被陳所長這幅如饑似渴的神態嚇住了,平時所長可是澹定和藹的,沒想到今天卻如此著急激動。
于是,他便趕緊去訂購機票了。
要不然所長大人非得把他吃了不可。
另一邊
離得比較近的花為副總陪著任老爺子來到了燧人科技的重明鳥光學技術研發實驗室里。
作為燧人科技的合作伙伴與盟友,張云也第一時間收到了來自許黎的消息,并將這件事告訴了還在喝茶養生的任老,然后就馬不停蹄地趕了過來。
“許先生,euv光源真的成功了嗎可以讓我們看看嗎”
任老上來就有些急不可耐。
“當然可以,請。”
許黎點點頭,隨后便帶著幾人進了實驗室。
極紫外光源仿佛一個絕美的寶藏在他們眼前熠熠生輝。
“性能怎么樣”
任老問了一句。
“根據我們反復實驗,其最終實際ce值為45,輸出功率為220。”
一般衡量euv光源性能主要有兩個指標轉換效率附近2帶寬內輸出的能量占總輸入能量的百分比;以及輸出功率,即在中間會聚點i處測得的功率。
“ce值45你確定”
一旁的張云驚疑了一聲。
他雖然是花為管理層,但也是理工出身,加上這些年時不時會學習,與時俱進,自然知道這個數值的意義。
要知道極紫外光刻機的光電轉換效率僅僅只有002005左右。
因為極紫外光能夠被絕大部分材料吸收,所以必須消耗電力把整個環境都抽成真空。