話說,,,版。
另外,極紫外光也能被透鏡吸收。
因此,將極紫外光集中到一起只能靠反射了。用硅與鉬制成的鍍膜反射鏡,可以用來集中極紫外光。但是極紫外光每被反射一次,能量就會損失三成。極紫外光從光源出發,經過十幾次反射,到達晶圓的時候,只剩下不到2的光線了。
而要得到這樣高功率的極紫外光,需要極大的激光器。但是這樣的激光器在工作時會產生很大的熱量,需要一套優良的散熱冷卻系統,才能保證機器正常工作,而這又需要消耗大量電力。
據悉,目前as公司的極紫外光刻機的輸出功率為250,要達到這樣的輸出功率,需要0125萬千瓦的電力輸入才能維持,相當于一天要消耗3三萬度電
可以說,euv光刻機可是一只吞電巨獸啊恐怖如斯
這些電都可以讓夏天的小伙伴在家開好幾個月的空調了,即使不用空調,也夠好幾年的家庭用電了。
所以,即使就算造出了極紫外光刻機,那其恐怖的耗電量也能讓錢包大大縮水一圈的。
但是現在他聽到了什么
45的轉換效率
這可是連as的光刻機都做不到這樣的轉換效率。
這要是安裝在一臺頂配的光刻機上,那性能將大大提高,而且耗電量也不用那么的恐怖。
如果能夠配合這樣的極紫外光源,那改造的光刻機或許能夠將芯片制程提升到十幾納米。
“真是太好了,或許我們接下來就不用這么被動了,許先生,你真是讓我驚喜啊”
任老笑道,上次雖然在發布會上說了要搞極紫外光源,任老也當即決定和燧人科技合作,希望能夠借助長光機電所的科研實力,共同改進光刻機,希望能夠提升到14納米的水平。
原以為要等很久,但是這個合作貌似快要實現了。
“嗯,接下來就讓我拭目以待吧”
許黎點了點頭。
然后他和任老商量了一下,決定暫時不將這個消息放出來,先壓著。
等陳所長過來進行正式改造光刻機的流程,重明鳥這邊會按照現有設計完善光學系統,并送到長光機電所進行光刻機的改造。
第二天,陳所長也是如預料之中的到來。
許黎帶著他看了一下研制出來的極紫外光源,然后按照陳所長請求測試了一下。
陳所長顯示震驚了一下,后又是欣喜若狂。
他不住地緊握著許黎的雙手,有些顫抖地說道“許先生,起初我以為你們進度這邊沒那么快,沒想到卻讓我出乎意料,這極紫外光源要是安裝在我們的光刻機上,那等于如虎添翼。”
雖然有了極紫外光源不能追上as5nuv光刻機的工藝水平,但是也能讓國產光刻機性能提高不少,這無疑是一大進步。
這些年來,也不知道有多少國內的專家科研團隊耗費腦汁和精力,但是突破實在太難了。
因為光刻機即使是西方也要湊隊友才能組裝起來,非一國之力就能在短期內簡單拼湊的。
國家為此也大力對光刻機和半導體產業企業進行大力度的優惠力度和傾斜政策,并且還投了不少資源進去。
但是依舊無果,而其中也有不少企業高管為了騙補貼、玩弄金融去弄虛作假,這些新聞屢見不鮮。
引起了國內廣大人民群眾的憤怒,同時也打擊了國內民眾和科學界的信心。
但是現在出現了這么一道曙光,或許能夠給國內半導體行業乃至全國人民一個振作信心的機會。
“對了,許先生,你們也需要盡快向國家相關部門匯報并提交相關非核心專利,這樣也有不少好處。”
陳所長提醒了一下。
“這個我懂的。”許黎頷首道。請牢記收藏,網址最新最快無防盜免費找書加書可加qq群952868558</p>