西蓉北郊。
西南特種電氣工業公司。
雖然六月末的西蓉,天氣十分酷熱。
但為了熱烈歡迎,遠道而來的櫻花半導體考察團。
身為公司總經理的汪學斌。
還是無懼炎熱,帶著公司高層,在辦公樓前列隊等候。
之所以如此熱忱。
當然因為他對這一次的合作交流,抱有非常大的期望。
公司雖然從事工業氣體研制生產很多年。
但過去市場需求有限、銷售業績不高,也不太可能下大力氣進行相關技術研究。
誰也沒想到
這兩年龍國的制造業,像是坐上了火箭似的,增長勢頭無比迅猛。
金屬冶煉、石油化工、機械制造、食品加工、電子及半導體、醫療器械
因為工業生產中不少環節,是不能直接暴露于空氣之中,需要特殊氣體參與反應。
所以制造業越發達,對工業氣體的需求量就越大。
如果只是需要常見的氦氣、氮氣、氧氣、二氧化碳等等這些。
汪學斌還不至于那么頭疼。
畢竟這些常用工業氣體的加工制備,技術工藝早就相對成熟。
可問題是
龍國的電子信息產業,發展速度太迅猛了。
為了追求高精度、高質量、高性能,電子信息產業,對工業氣體不僅需求量很大,要求還很高。
哪怕只是生產液晶顯示面板所需要的氮氣、氦氣、氧氣和氫氣,純度都要比食品工廠的高很多。
于是乎。
有關部門就將工業氣體,分成了大宗氣體和特種氣體這兩大類。
將用于滿足冶金、化工、機械制造等普通工業生產的大宗氣體研制任務,從公司剝離了出去。
讓公司專門負責,研究生產用于滿足集成電路、液晶面板、醫療儀器、芯片制造的特種氣體。
這個任務,真是光榮又艱巨啊
光榮在于研制特種氣體,有力支撐龍國的高端制造業發展,是利國利民的一件大好事。
艱巨在于特種氣體,是真不好研制。
就拿生產芯片來說。
從最開始制造硅片,將高純度硅拉單晶、磨外圓、切片、倒角、磨削等等制造成晶圓,就需要大量使用高純度的氯化氫、氫氣和氬氣了。
而開始進行光刻加工的時候,需要氟氣、氪氣、氖氣等好幾種特種氣體。
刻蝕清洗,除了常用的幾種特種氣體,還需要溴化氫、氯化氫、二氟甲烷、三氯化硼、六氟化硫等等二十幾種。
離子注入的時候,又需要氟化砷、四氟化硅、氙氣等。
摻雜之時要乙硼烷、砷化氫,以及不少含硼磷砷的三族及五族原子之氣。
除此之外,還有很多工藝環節,都還需要相應的特種氣體。
林林總總加一起。
要想生產高性能的合格芯片,竟然需要一百多種特種氣體。
需要的特種氣體種類多,都還不算什么難事。
真正讓人頭疼的,是這些特種氣體的純度要求太高了。
用于普通工業生產的大宗氣體,純度只要達到了9999,就已經很不錯了。
而用于電子科技產品的呢
哪怕只是生產6寸以下、不低于025微米線寬的晶體管和晶閘管,純度都要百分之九十九點九九九。
而要生產大規模集成電路、特殊電子元器件、納米級線寬大尺寸芯片,需要的純度,必須高于百分之九十九點九九九九。
特種氣體的純度越高,越有利于芯片加工生產,可以大大提高芯片的良品率。
可是純度已經很高的氣體,再想進一步的提純,難度實在是太大了。