聽到這個振奮人心的消息，郝強的心情瞬間明朗起來，嘴角不自覺地揚起一抹微笑。
“嗯，好的，我立刻下來！”他果斷回答，隨即放下手頭的工作，離開辦公大樓，快步朝實驗室走去。
走在路上，看著路兩旁的綠樹，郝強的心中滿是期待。
ebl光刻機的研發歷程并不平坦，經歷了無數個日夜的努力與堅持，終于迎來了這個關鍵時刻。
他知道，這不僅僅是一臺機器的測試，更是整個團隊心血的結晶。
當他走進實驗室時，科研人員們的臉上洋溢著興奮的神情，空氣中彌漫著緊張而期待的氣息。
組長站在設備前，滿臉期待地指著剛剛組裝好的光刻機，仿佛是在向郝強展示一件珍貴的藝術品。
“總算組裝完成了，就是有點擔憂。”組長的聲音中透著激動，又有一些擔憂。
第一次測試，多多少少會有些問題。
小問題還好，若是大問題的話，就有可能前功盡棄。
汽車公司和鋰電公司的希望全壓在他們身上。
“嗯，我再次檢查一下。”
郝強走近設備，仔細打量著每一個細節，心中感慨萬千。
他想起了團隊成員們在實驗室里加班加點的日子，想起了那些熬夜調試、反復試驗的身影。
每一個人都在為了這個目標而努力，付出了巨大的心血。
撫平心情，認真地檢查。
其實，在組裝之前，每個零部件都進行過測試了，確保總測順利。
郝強眼前這個樣機ebl001，主機尺寸長4米，寬2.5米，高約3.5米，重約3.5噸。
整個系統包括控制機柜、真空泵系統、冷卻水循環系統、減振臺座、操作控制臺等，全套系統重約10噸。
算上這些配套設備，一臺ebl光刻機就不止十平方米了，通常需要至少50平方米的，要求室內凈高達到4米，且對地面穩定性有較高要求，重新打了地基，免得工作時影響了工作精度。
當然，哪怕精度是相對性的，理論上跟地面震動沒有影響，但納米級設備要求就比較高。
除了避震要求外，還要求恒溫：20±1c
-相對濕度：45±5%
潔凈度：class100-1000級
以及要求良好的電磁防護。
大概一個小時后，
郝強也沒有發現什么大問題，但還是有些擔憂，讓組長開始測試。
隨著組長的指令，測試正式開始。
實驗室內的氣氛瞬間變得緊張而激動，所有人都屏息凝視，目光緊盯著設備的反應。
隨著啟動按鈕的按下，設備發出輕微的嗡鳴聲，逐漸運轉起來，顯示屏上開始閃爍著數據。
“設備正常運轉！”組長略有興奮，說明路子是對的。
當然，要測試自然要拿實物硅片進行。
實驗室里已經準備好了許多片涂上光刻膠的硅片，ebl光刻機與傳統的光刻機不同，它無需掩膜版,直接寫入。
光刻機的工作原理，簡單來說，就是把硅片當成一塊黑板，然后在黑板上畫電路圖。
而紫外線或電子束（ebl光刻機）就是粉筆，粉筆的粗細就是線條的粗細。
由于黑板大小固定，要想畫更多的圖，自然是粉筆越細越好，但相應地對技術要求更高，就越難畫。