“老譚,你著什么急!咱們不睡覺,人家哈桑殿下不睡覺了?”徐教授白了譚廠長一眼:“明天,明天再說!”
“好吧。”
第二天,秦富家。
“好啊,咱們的光刻機,的確該產業化生產了!”秦富點頭:“我支持成立一個專門生產芯片制造設備的公司!至于在首都還是在魔都,徐教授,你自己選擇!”
“哈桑殿下,我認為,在魔都更加合適,那邊的電子產業更加發達,有老牌的眼鏡廠,而且還是國際化的大都市,更能接觸到國際先進理念……”
徐教授是經過一番深思熟慮的。
首都是政治、經濟和文化中心,這個稱呼說起來好聽,實際上沉甸甸的,在這里不管干什么,都會受到很多制約,而魔都,則是國際化的大都市,那邊更加開放!
更重要的是,造光刻機,就離不開造鏡片,在魔都,有幾個老牌的眼鏡廠,吳良材眼鏡廠,1719年創立,是東方眼鏡行業的先去,茂昌眼鏡廠,1924年創立,這些老牌的眼鏡廠里,都有一群技術精湛的工人!
“好,那就去魔都,就叫做魔都半導體設備有限公司,咱們沙某人會注入足夠的資金,你們這些創始人,也會占據一些初始股份,這個公司要不斷地研制先進的光刻機,我們的要求不高,必須要做到世界第一!”
徐教授點頭:“哈桑殿下,您放心,只要有資金支持,咱們的技術就一定會保持領先!”
秦富向來不重視細節,反正電子產業是交給六哥的,接下來讓六哥去協調好了。
等等!
秦富想到了什么:“我們的光刻機,使用什么光源?”
想要超越西方,還得在技術路線上走對了!后世的阿斯麥能夠成為光刻機的霸主,而尼康這些大佬隕落,就是因為技術路線錯誤。
“早期的接觸式光刻機用的是436納米的g-line和365納米的i-line光源,不過進入七十年代之后,準分子激光光源開始出現,咱們的光刻機,用的是248納米的krf光源,從理論上說,這種光源的光刻機,可以一直用到0.18微米的工藝水準。咱們在十年內,都不用擔心光源問題。”
現在的芯片,還是幾微米級別的,八十年代,東方提出的531工程,就是量產5微米,研發3微米,爭取上1微米而已。
但是,光刻機這個賽道,也是很卷的,必須得提前研究下一代的光源,否則就會落后。
“哦,那十年后呢?”
“十年后,應該會過渡到arf的技術路線上。”徐教授說道:“咱們華清大學激光所,已經在搞這種全新的光源了,十年內,必然會搞出來。不過……也有一些公司著手更加超前,比如ibm公司,已經在搞x射線的研究了。”
光刻機的技術路線,是在arf光源上遭遇巨大阻力的,這種光源波長193納米,理論可以刻蝕到55納米的工藝,但是再向下,就會碰到一座大山。
接下來用什么光源,行業內都是懵逼的,尼康這種老牌廠商,就是錯誤押寶,開發154納米的光源,而阿斯麥,用了浸潤式光刻機,給鏡頭加水,改變折射率,直接讓光源降低到了134納米。
浸潤式光刻機在多重曝光之后,最低可以做到10納米,再向下,就是極紫外的euv光刻機了。
所以,只要arf這個賽道不出錯,以后咱們迅速過渡到浸入式光刻機,那就能用到新千年之后了!
“嗯,咱們堅定地走自己的技術路線就行!”秦富點頭。</p>