這讓羅曼諾夫有些不服氣,周博或許是軍工天才,但在硅冶煉這個領域,羅曼諾夫對自己有絕對自信。
聽到周博主動問他,羅曼諾夫皺眉道:“我正要談反應爐的問題,我和郭維達瓦里希在技術上有些分歧,你來看一看吧!”
周博點點頭,郭維是中方技術負責人,他的技術路線是周博提供的。
所謂的技術分歧,周博心里已經大概有了數。
“那好,我們看看!”
說著,眾人向著車間走去。
從硅礦石到高純硅,不是一步完成的。
按照硅提純的步驟,硅片廠建設了三大車間。
第一車間是電弧爐車間,負責硅礦石第一步冶煉,使二氧化硅與碳發生反應,生成粗硅(也稱冶金級硅),純度約為95%~99%。
第二車間是酸洗車間,通過酸化反應,去除粗硅中的鐵、鋁、碳等雜質,提高硅的純度至99.9%以上。
這兩步都是傳統工藝,雙方沒什么分歧。
為了快速上馬,周博甚至直接照搬毛熊方案,設備也都從毛熊進口。
而第三車間是提純車間。
將低純硅與氯化氫(hcl)反應生成三氯硅烷(sihcl?),然后通過蒸餾和化學氣相沉積(cvd)將三氯硅烷還原為高純度多晶硅。
純度達到99.9999%(6n)至99.9999999%(9n)
這個方法被稱為西門子法。
雙方分歧就在這一步。
西門子法雖然被各國廣泛采用,但傳統西門子法在效率、能耗、生產成本都不太理想。
因此,周博采用了更先進的改良西門子法。
能耗顯著降低,同時效率提升一倍以上。
傳統西門子法中,硅的沉積率只有約10%-15%。
如果采用改良西門子法,沉積率提高到30%。
很快,眾人來到提純車間,聚集在一個4米長的圓柱形金屬腔體前。
這是硅提純的關鍵設備,反應爐。
提純時,將多根細長的硅棒(硅芯)插入反應爐。
然后通過沉積(cvd)反應,在高溫下將硅沉積到細長的硅棒上,形成高純度多晶硅。
羅曼諾夫道:“周博達瓦里希,這是你們設計的反應爐,怎么能橫式布置呢。
你知不知道,如果氣體分配不均勻,硅純度就無法保持一致。”
羅曼諾夫的聲音有些著急,看得出來,他還是很敬業的,對工作一絲不茍,并沒有因為是夏國項目就有所懈怠。
周博笑了笑,傳統西門子法都是立式爐,橫式爐是后世設計,效率更高。
“羅曼諾夫同志,橫式爐是新式方案。
氣體流場經過優化,硅純度絕對可以保證!”
“你確定?”
“當然!”周博自信十足。
“不僅如此,橫式爐效率還更高。
我問你,你們的反應器能沉積幾根硅棒?”
“八根!”
羅曼諾夫回答道,聲音帶著幾分自信。
他知道,這個數字在全球算是領先的。
周博笑了笑,淡淡道。
“我們的橫式反應爐可同時沉積36根硅棒···”
36根!
一眾毛熊專家都瞪大了眼睛。</p>