他們看到機械臂是如何以微米級的精度,將一塊石英模板覆蓋在晶圓上,并在真空環境下進行物理接觸,將電路圖案蓋章上去。
整個壓印過程在幾秒鐘內完成,通過紫外光照射,樹脂迅速固化,電路圖案被完美復刻。
一切看起來都那么簡單、優雅、高效。
晚上回到酒店后,華國團隊的一位相對年輕工程師激動地對陳磊說:“陳老師,這簡直是降維打擊!原理這么簡單,成本這么低!如果能解決.”
陳磊沒有說話,他的眉頭越皺越緊,林總真的無所不能到,能夠解決整個阿美莉卡半導體研發聯盟加在一起都沒有辦法解決的問題嗎?
人類能做到這點嗎?
佳能的nil設備是2023年出貨的,原本在2025年就要開始正式進入生產環節,要生產的還不是復雜的邏輯芯片,只是基礎的nand閃存芯片而已。
但即便如此,鎧俠和sk海力士都沒能解決這一問題。
阿美莉卡的半導體研發聯盟就更不用說了,他們也無法解決。
所以林總到底有什么辦法能夠解決?難不成會是林本堅當年想到用水做隔膜的神來一筆?陳磊內心浮現無數疑惑。
當團隊開始深入詢問核心技術細節時,正如陳磊所說的那樣,他們第一次撞上了那堵看不見的墻。
“鈴木先生,”陳磊在一個技術研討會上提問,“nil技術的核心,是模板的完美度。
我們可以參觀一下你們的模板制造和修復車間嗎?”
鈴木禮貌地鞠了一躬:“非常抱歉,陳博士。
模板的母版,是使用阿美莉卡應用材料公司的電子束寫入設備制造的,其操作流程和缺陷檢測,我們的協議,僅限于壓印機本身。”
一直坐在后排的阿美莉卡顧問戴維森,此時抬起頭,對陳磊露出了一個無可挑剔的微笑。
下午,團隊的材料學專家,在分析壓印樹脂的成分時,再次碰壁。
“鈴木先生,這種光敏樹脂的化學成分和配比,是實現低缺陷率的關鍵。
我們能否獲取相關的技術資料?”
鈴木的回答幾乎是復刻了上午的模式:“非常抱歉,博士。
這種樹脂是阿美莉卡陶氏化學的專利化合物,我們也是直接進口預封裝好的原料盒。
其配方屬于阿美莉卡核心商業機密,不在本次技術轉讓的范圍之內。”
到了周末,當團隊想要了解如何檢測和分類納米級的壓印缺陷時,戴維森終于親自出馬了。
他一邊操作著那臺昂貴的kla檢測設備,一邊友好地解釋道:“所以,你們看,通過我們的spectrashape系統,可以清晰地識別出這些小于10納米的缺陷點。
當然,解讀這些數據的算法模型,以及如何將其反饋到上游工序進行修正,都屬于kla的專利軟件服務。
根據協議,我們會為你們在大陸的工廠提供裝機和技術支持服務。”
深夜,酒店房間
陳磊和他的幾位核心組員,在房間里復盤這兩周的收獲。最初的興奮已經蕩然無存。
“我明白了,”一位負責工藝整合的工程師喃喃道,“他們不是賣給我們一臺機器,他們是賣給我們一個生態位。”
他沒有說完的潛臺詞是:這個生態位嵌入到了他們的生態中無法脫離。
陳磊走到窗邊,看著窗外宇都宮市安靜的夜景。
“我之前說的沒錯。”陳磊的聲音異常平靜,“現在就等林總解題了。
我很好奇,是阿美莉卡想方設法布置的題更難解,還是世界上最杰出的數學大師解題能力更強。”
這也是團隊成員們這段時間下來內心剩下的唯一疑問。</p>