第2255章
但現在看來,他們還是有些小瞧這種高精度的光刻機了。
這讓自信滿滿的他們,遭受了不小的打擊。
項目剛進展不久,就遇到了第一個重大瓶頸,指揮部里的氣氛有些凝重。
如果光源問題無法解決,后續的所有工作都無從談起。
李陽靜靜地聽著匯報,翻看著失敗的實驗數據和損傷元件的照片。
他沒有指責,而是陷入了沉思。
良久,他抬起頭,目光掃過在場的專家。
“我們是不是陷入了一個思維定式?”
他緩緩開口。
“為什么一定要完全沿著asml走過的路再走一遍?”
“他們用lpp成功了,不代表這是唯一的路徑,也不一定是最適合我們基礎的路徑。”
他走到白板前,畫下了幾個簡單的示意圖。
“我們最大的優勢是什么?”
“是我們在大型尖端工程裝置上積累的經驗,尤其是對高溫等離子體的理解和控制能力。”
“lpp路線本質也是制造和控制等離子體,來產生euv光。”
“我們能不能跳出‘模仿’的圈子,利用我們在激光慣性約束聚變或者磁約束聚變中對于等離子體物理的深刻理解,探索一條不同的技術路徑?”
“比如,有沒有可能利用放電等離子體(dpp),或者結合我們正在研究的新型高功率激光器和特殊材料靶,走出一條我們自己的euv光源技術路線?”
“哪怕初期效率低一些,但只要原理通,能突破,就是勝利!”
李陽目光掃視全場,帶著一些激動,和些許的詢問。
在場的人都是這個領域的專家,相較于他而言,顯然更專業一些。
李陽目前也是在系統的幫助下,逐步完善這個領域的知識。
所以,他的這個想法,更多的是與他們進行探討。
李陽的話像一道光,穿透了籠罩在團隊頭上的陰霾。
研究員們細細品味他說的話,許久之后,均是眼睛一亮。
“妙!妙啊!”
“雖然不知道是否可行,但李工這方法,也為我們提供了一個新的思路,我覺得可以嘗試一下!”
“沒錯!我們不怕失敗,怕的是失敗后沒有重頭再來的勇氣!”
看到他們重振旗鼓,李陽很是滿意。
他看著團隊成員,語氣堅定。
“他們封鎖的,不僅僅是一臺臺光刻機,更是試圖鎖死我們想象力的牢籠。”
“而我們‘破壁’的目的,就是要用我們自己的智慧和方式,把這個牢籠徹底打破!”
“既然是打破牢籠,那我們就不能循規蹈矩,而是要嘗試各種各樣的辦法!”
整個實驗小組,再次恢復了斗志。
所有研究員按照李陽提供的思路,重新開始寫方案,做測試。
晚些時候。
李陽從實驗室回到辦公室。
打開燈,翻閱著有關同步輻射光源和放電等離子體的最新論文。
他相信,解決問題的鑰匙,往往藏在主流視野之外的地方。
“時間緊,任務重。”
“常規的辦法雖然也能實現光刻機的突破,但是留給我們的時間不多了。”
“要想在短時間內,突破光刻機,必須要走一些不常規的道路......”
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