但沒關系,拿市場以及共同的利益維系著就行了,拿到了既得利益就會為這份利益盡心盡力。
在場的一位來自友商的技術負責人走到羅晟旁邊,“羅先生,光刻機的主要性能指標,支持基片的尺寸范圍、分辨率、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產效率等技術痛點目前都已經解決了。”
羅晟點點頭,問道:“光源系統方面的技術問題呢?”
對方立即回道:“也基本解決了。”
羅晟:“基本?那就是還沒完全解決了,盡快解決。”
值得一提的是,EUV光源系統的組成,光源由光的產生、光的收集、光譜的純化與均勻化三大單元組成,相關的工作元器件主要包括大功率CO2、激光器、多層涂層鏡、負載、光收集器、掩膜版、投影光學系形成等離子體,等離子利用多層膜反射鏡多次反射凈化能譜,從而獲得13.5納米的EUV光。
僅僅是這么一個光源的問題就要牽涉到了十多家廠商來研發配套,足見這玩意制造難度之高了,僅僅是砸足夠的錢還是次要的,技術更是重要,國內相關的廠商實際上又沒有核心科技。
但好在羅晟自己掌握的技術再通過小娜的針對EUV光刻機的補全模擬獲得了相應的技術,然后把技術分發給各大廠商按標準制造,同時也把技術授權給他們。
正因為技術授權這一點,才能把各大廠商維系在一起。
靠覺悟和理想?
羅晟雖然喜歡這么說,但他從來不會去這么做。
否則這么復雜的鏈條,一旦某個環節的廠商鬧情緒大家都干瞪眼,這是羅晟不能允許的發生的事情,投入的資金成本、時間成本、沉沒成本都是天文數字,必須要給他們一點掣肘,否則隊伍就不好帶了。
關于極紫外光刻機的命名早已經被確定了,代號“紫星光刻機”,這也是國產自主研發不依靠國外技術當時的最先進的光刻機設備。
紫星光刻機的問世,將宣告著國產光刻機設備與A**L旗下的EUV光刻機處于同一梯隊,徹底打破了頂尖光刻機設備被外國人壟斷的局面。
羅晟收回目光看向在場的各大廠商派來協同的技術大拿們說道:“紫星光刻機可以使用波長13.5納米的極紫外光,從而實現14納米、10納米、和7納米制程的芯片生產,而通過技術迭代升級,未來也可以實現9納米、8納米、6納米、5納米、4納米乃至3納米等制程的芯片生產。”
“技術升級方案蔚藍海岸實驗室一直在做,升級迭代必須是協同的,有需要的時候各大供應鏈伙伴來我這里要技術授權分發即可,諸位回去之后順帶把話帶給你們的老總,我就不跟他們一一聯系了。”
眾人都連連點頭,這種模式簡單的說研發尤其理論端,蔚藍海岸實驗室在做這些。
供應鏈伙伴負責把羅晟的想法實現,就是把實物按標準造出來,這沒有誰更難一說,都很難,只不過創造性相對難一點。
要知道,把這些技術交給隔壁的三哥,讓他們照著抄也搞不定,把東西按標準造出實物設備也是要有底子才行,這是制造業的底子。
……