其他專家固然沒有辦法從專業的角度聽懂其中的難度,但光是憑借直覺就能明白這有多難了。
用一個擁有近乎無窮解空間的、典型的np-hard問題,這些形容詞和最后的名詞,聽起來就覺得困難。
近乎無窮解,在數學知識大約等于數學系大一大二學生的工業專家們看來,和近乎無法求解沒有區別。
坐在魏哲邊上的專家,看他的臉色也能看出端倪,看魏哲一副驚呆的樣子,就知道林燃又做了什么驚天動地的結果出來。
梁孟松舉手,林燃點了點頭:“梁工,你說。”
“林總,”梁孟松的語氣很沉重,“您從算法層面為我們提供了解決方案,現在我們從理論上能做到。
但是在現實世界中要到,我們需要有精度足夠高的模板,有了這樣的模板,我們才能用nil光刻機去印所謂的超構透鏡,才能擁有傳統路線光刻機所需的鏡頭。
我解釋一下,我們要制造的,是帶有5納米級別結構的超構透鏡母版模板。
而要制造這個母版,我們需要一臺電子束寫入機。”
“這東西,就像一支筆。”梁孟松努力用最簡單的語言解釋,“光刻機,像一臺巨大的印刷機,可以把模板上的圖案,一秒鐘復印幾十次。
而電子束寫入機,就是那支用來制作印刷母版的、最原始的筆。
你的筆有多細,決定了你的母版有多精細。
而我們,我們國產的、最先進的電子束寫入機,能穩定刻畫的最小線寬,是65納米。
用65納米的筆,去雕刻5納米的圖案,這是不可能的。”
多電子束寫入機是一種用于高精度圖案轉移的先進半導體制造設備,通過使用多個電子束同時在晶圓上寫入圖案。
梁孟松說的更常見一點的名詞叫掩膜版,光透過掩膜版在硅片上印上圖案,掩膜版的精度決定了硅片上集成電路的精度。
用來制作掩膜版的機器就叫多電子束寫入機,它一次只能制作一塊掩膜版,適用于小批量、高復雜性的圖案制造需求。
總結來說,沒有最先進的電子束寫入機,就無法制造出用于生產最先進芯片的掩膜版。
它是整個半導體制造產業鏈的“源頭”,其戰略重要性,絲毫不亞于euv光刻機本身。
全球最先進的、用于euv級別的多電子束掩膜寫入機,其市場被奧地利的imsnanofabrication公司,現已被英特爾絕對控股。
另一家霓虹公司eology也在研發,但市場份額和技術應用廣度上都有差距,這是東芝的子公司。
國內的申海微電子旗下也有子公司在負責研發,但精度是90n到65n之間。
無論是哪個技術路線的光刻機,都需要有掩膜版,在母版上面去印刷。
會議室里,剛剛因數學突破而燃起的樂觀氣氛,瞬間被澆滅了。
大家都是業內人士,很清楚梁孟松說的是事實。
沒有最頂尖的筆,再完美的設計圖也只是一張廢紙。
林燃說:“這不是問題,我們雖然沒有最先進的筆,但是有次一級的筆。”
林燃看向臺下的楊德人說道:“楊院士,你來說說吧。”