“對于外人,我沒有這個時間去解釋,也不想去解釋。”
“但是徐叔不是外人,我也明白徐叔是為了我好。”
“所以,我倒是可以和徐叔簡單地聊一聊。”
徐松堯的眼睛一亮,頓時來了興趣。
“徐叔應該知道ssmb的概念吧,ssmb光源最誘人的地方就在于它可以提供各種各樣波長的射線,從波長13.5n的極紫外線,再到5n波長的軟x射線,都能輕輕松松的提供,并且功率最大可以達到4kw,遠超cyr公司的錫滴轟擊法。”
“不過同樣的,ssmb也要進行原理驗證試驗,完成束流動力學,瓦光源物理設計和等等。”
“這些工作,看上去很簡單,但是都需要大量的時間。”
“這要是申請科研經費的話,就是極大的缺陷。”
“但是在銀河科技這里,就不是什么問題了。”
“……”
聽著王東來的大致解釋,徐松堯也有些明白了。
想了一下,就提出了自己的問題。
“東來,光刻機本來的能耗就很大,按照你的設想,直接做成了光刻工廠,那么能耗就更加嚴重了,這一點,你有沒有考慮過?”
王東來輕輕笑了笑,就出聲解釋道:“徐叔,這一點,我當然明白。”
“光刻機的能耗大,主要是因為它要維持金屬蒸汽,產生高能打靶激光,產生的光在蒸汽中被吸收,深紫外線極其容易被物質吸收,光路上被反射膜、透鏡和管道吸收等。”
“而變成了光刻工廠的話,就主要集中在電子加速以及磁場維持,以及產生誘導激光和產生的的光在光路上被反射膜、透鏡和管道上吸收。”
“這個問題,我通過數學模型模擬了很多次,其實并沒有想象的那么嚴重,光刻廠的總耗能確實是有可能要比光刻機大一些,但是因為光刻工廠的整體效率比光刻機高,所以平均下來的話,耗能并沒有提升太多,還在可接受范圍內。”
徐松堯沒有停下,繼續問出來了自己第二個問題。
“掩膜板的問題要如何解決,如果是利用多條光刻線路來完成的話,是不是就要多出數倍的掩膜板?”
“高功率光源對于光器件的損傷更加嚴重,放到光刻工廠的話,損耗量和損耗速度,將會成倍數增加,這么一來,就等于是需要重新研發這些光器件,就連散熱問題也要重視。”
“第三個問題,那就是最重要的一個良品率問題。”
“從光刻機變成光刻工廠,這不僅僅是理念的變化,更是一種方案的選擇,光刻工廠的投入不小,更何況還是銀河科技出資研發。”
“那么這就要求光刻工廠是要盈利的,如果做不到這一點,光刻工廠就不能算是一個合格的設計方案。”
“一個很淺顯的道理,工藝步驟越多,對于良品率的影響就越大。”
“如果光刻工廠的成本過高的話,光刻工廠的誕生意義其實就沒有那么大了,從商業經濟行為來看,這就是一個失敗的選擇。”
“當然了,對于國家而言,只要能夠突破封鎖,那就是千金難換的,畢竟有些東西是不能用經濟價值來衡量的。”
“東來,這些問題,我不知道你是怎么考慮的。”
“從我個人而言,我是希望你更多地考慮一下自己。”
“可是從整體國家層面而言,我又希望你能突破這個難題。”
“到底怎么做,我也給不了你什么意見,只要你不后悔,什么選擇都可以!”
聽到徐松堯這么說,王東來心里頗為感動。
“徐叔,你放心吧,我心里有數。”
“光刻工廠一定會成功的!”
王東來堅定而又自信地對徐松堯如此說道。</p>